纳米光电子器件平台加工与检测系统项目所在采购意向：电子科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：电子科技大学采购项目名称：纳米光电子器件平台加工与检测系统预算金额：1459.*万元(人民币)采购品目：
A*服务器、A*激光仪器、A*红外仪器、A*其他专用仪器仪表、A*电子工业专用生产设备、A*显微镜采购需求概况 ：
纳米光电子器件研究平台是电子科技大学光电科 (略) 的特色研究平台，平台建设瞄准微纳光电子世界科技前沿和国家重大需求，结合我校光电子、微电子、通信等学科优势，开展基础性、战略性和颠覆性的探索和技术攻关，解决信息光电子领域的技术瓶颈，培育国家级科研成果。本项目拟采购等离子增强化学气相沉积系统1套、磁控溅射薄膜沉积系统2套、开文探针原子力显微镜1台、场发射电镜与电子束光刻系统1台、快速退火炉1套、电子束蒸发镀膜仪1台、台阶仪1台、台式扫描电镜1台、小型工作站1台、飞秒激光器1台、中红外光谱仪1台、感应耦合等离子体刻蚀机1台、反应离子刻蚀机1台、高精度划片机1台、普通光刻机1台、高清金相显微镜1台。供货时间需满足国产设备4个月以内、进口设备12个月以内、质保期至少1年以上。预计采购时间：2022-12备注：

纳米光电子器件平台加工与检测系统项目所在采购意向：电子科技大学2022年11至12月政府采购意向采购单位：电子科技大学采购项目名称：纳米光电子器件平台加工与检测系统预算金额：1459.*万元(人民币)采购品目：
A*服务器、A*激光仪器、A*红外仪器、A*其他专用仪器仪表、A*电子工业专用生产设备、A*显微镜采购需求概况 ：
纳米光电子器件研究平台是电子科技大学光电科 (略) 的特色研究平台，平台建设瞄准微纳光电子世界科技前沿和国家重大需求，结合我校光电子、微电子、通信等学科优势，开展基础性、战略性和颠覆性的探索和技术攻关，解决信息光电子领域的技术瓶颈，培育国家级科研成果。本项目拟采购等离子增强化学气相沉积系统1套、磁控溅射薄膜沉积系统2套、开文探针原子力显微镜1台、场发射电镜与电子束光刻系统1台、快速退火炉1套、电子束蒸发镀膜仪1台、台阶仪1台、台式扫描电镜1台、小型工作站1台、飞秒激光器1台、中红外光谱仪1台、感应耦合等离子体刻蚀机1台、反应离子刻蚀机1台、高精度划片机1台、普通光刻机1台、高清金相显微镜1台。供货时间需满足国产设备4个月以内、进口设备12个月以内、质保期至少1年以上。预计采购时间：2022-12备注：