-超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统招标预告
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-超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统招标预告
| 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 |
| 预算金额： | 630.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 加工制备高质量量子芯片，需要专用的高真空镀膜系统，包括预真空进样腔体、超高真空蒸镀腔体、氧化腔体等，基片倾角控制好于0.02度，需具备超高真空环境（蒸发腔真空＜9×10-10mbar）、高质量均匀薄膜、衬底加热、衬底清洗、多腔体间的传动装置等功能。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 |
| 预算金额： | 630.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 加工制备高质量量子芯片，需要专用的高真空镀膜系统，包括预真空进样腔体、超高真空蒸镀腔体、氧化腔体等，基片倾角控制好于0.02度，需具备超高真空环境（蒸发腔真空＜9×10-10mbar）、高质量均匀薄膜、衬底加热、衬底清洗、多腔体间的传动装置等功能。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
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