8英寸硅锗分子束外延设备项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：8英寸硅锗分子束外延设备预算金额：1360.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
用于生长低缺陷密度、低背景杂质浓度、薄膜厚度精准可控的高界面质量硅28锗72同位素纯化的量子计算材料。8英寸,本底真空优于1×10-10mbar；外延片的外延厚度和温度不均匀性优于5%；最高衬底加热温度大于900℃，温度控制精度±2℃预计采购时间：2022-12备注：

8英寸硅锗分子束外延设备项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：8英寸硅锗分子束外延设备预算金额：1360.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
用于生长低缺陷密度、低背景杂质浓度、薄膜厚度精准可控的高界面质量硅28锗72同位素纯化的量子计算材料。8英寸,本底真空优于1×10-10mbar；外延片的外延厚度和温度不均匀性优于5%；最高衬底加热温度大于900℃，温度控制精度±2℃预计采购时间：2022-12备注：