山东大学2022年12月政府采购意向-干法刻蚀设备-电子工业专用生产设备-预算金额1200.000000万元(人民币)
山东大学2022年12月政府采购意向-干法刻蚀设备-电子工业专用生产设备-预算金额1200.000000万元(人民币)
干法刻蚀设备 | |
项目所在采购意向: | 山东大学2022年12月政府采购意向 |
采购单位: | 山东大学 |
采购项目名称: | 干法刻蚀设备 |
预算金额: | 1200.*万元(人民币) |
采购品目: | 电子工业专用生产设备 |
采购需求概况: | 采购干法刻蚀设备1套,能完成8英寸碳化硅晶圆刻蚀工艺,设备采用独立刻蚀腔室,单片式运行及搬运功能,全自动机台,双射频匹配调控,配备8路气体,最小刻蚀线宽为0.5μm。 |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
干法刻蚀设备 | |
项目所在采购意向: | 山东大学2022年12月政府采购意向 |
采购单位: | 山东大学 |
采购项目名称: | 干法刻蚀设备 |
预算金额: | 1200.*万元(人民币) |
采购品目: | 电子工业专用生产设备 |
采购需求概况: | 采购干法刻蚀设备1套,能完成8英寸碳化硅晶圆刻蚀工艺,设备采用独立刻蚀腔室,单片式运行及搬运功能,全自动机台,双射频匹配调控,配备8路气体,最小刻蚀线宽为0.5μm。 |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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