山东大学2022年12月政府采购意向-干法刻蚀设备-电子工业专用生产设备-预算金额1200.000000万元(人民币)

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山东大学2022年12月政府采购意向-干法刻蚀设备-电子工业专用生产设备-预算金额1200.000000万元(人民币)

干法刻蚀设备
项目所在采购意向:山东大学2022年12月政府采购意向
采购单位:山东大学
采购项目名称:干法刻蚀设备
预算金额:1200.*万元(人民币)
采购品目:
电子工业专用生产设备
采购需求概况:
采购干法刻蚀设备1套,能完成8英寸碳化硅晶圆刻蚀工艺,设备采用独立刻蚀腔室,单片式运行及搬运功能,全自动机台,双射频匹配调控,配备8路气体,最小刻蚀线宽为0.5μm。
预计采购时间:2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,山东
干法刻蚀设备
项目所在采购意向:山东大学2022年12月政府采购意向
采购单位:山东大学
采购项目名称:干法刻蚀设备
预算金额:1200.*万元(人民币)
采购品目:
电子工业专用生产设备
采购需求概况:
采购干法刻蚀设备1套,能完成8英寸碳化硅晶圆刻蚀工艺,设备采用独立刻蚀腔室,单片式运行及搬运功能,全自动机台,双射频匹配调控,配备8路气体,最小刻蚀线宽为0.5μm。
预计采购时间:2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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