山东大学2023年（第五批）05月政府采购意向公开-AlInGaN外延生长设备-采招网

山东大学2023年（第五批）05月政府采购意向公开-AlInGaN外延生长设备

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山东大学2023年（第五批）05月政府采购意向公开-AlInGaN外延生长设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将山东大学2023年（第五批）05月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	AlInGaN外延生长设备	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购AlInGaN外延生长设备1台。高温设计，MO源不少于8路、气态源不少于5路；带表面温度、生长速率监控装置，固态源配备在线浓度控制系统。	1200	2023年05月
2	AR/HR介质膜蒸镀机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购AR/HR介质膜蒸镀机1台。采用电子束蒸发，有离子源、样品加热功能，配蒸镀速率监控和真空监控，具有样品翻转控制。	245	2023年05月
3	Lift-off金属蒸镀机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购Lift-off金属蒸镀机1台。具有电子束和热蒸发两种方式，蒸镀金属层适合Lift-off工艺，用于芯片电极制备。	130	2023年05月
4	衬底解理机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购衬底解理机1套。用于将晶体沿解理面分割，形成无损伤的原子级光解理面。	120	2023年05月
5	芯片划裂机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购芯片划裂机1套。采用激光切割后裂片进行半导体芯片切割，用于电力电子和光电芯片制备。	190	2023年05月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

山东大学招标采购管理中心

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序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	AlInGaN外延生长设备	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购AlInGaN外延生长设备1台。高温设计，MO源不少于8路、气态源不少于5路；带表面温度、生长速率监控装置，固态源配备在线浓度控制系统。	1200	2023年05月
2	AR/HR介质膜蒸镀机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购AR/HR介质膜蒸镀机1台。采用电子束蒸发，有离子源、样品加热功能，配蒸镀速率监控和真空监控，具有样品翻转控制。	245	2023年05月
3	Lift-off金属蒸镀机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购Lift-off金属蒸镀机1台。具有电子束和热蒸发两种方式，蒸镀金属层适合Lift-off工艺，用于芯片电极制备。	130	2023年05月
4	衬底解理机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购衬底解理机1套。用于将晶体沿解理面分割，形成无损伤的原子级光解理面。	120	2023年05月
5	芯片划裂机	JN*	其他专用仪器仪表	本次采购芯片划裂机1套。采用激光切割后裂片进行半导体芯片切割，用于电力电子和光电芯片制备。	190	2023年05月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

山东大学招标采购管理中心

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