上海交通大学2023年1月政府采购意向-高深宽比介质干法刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额550.000000万元(人民币)
上海交通大学2023年1月政府采购意向-高深宽比介质干法刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额550.000000万元(人民币)
高深宽比介质干法刻蚀系统 | |
项目所在采购意向: | 上海交通大学2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | 上海交通大学 |
采购项目名称: | 高深宽比介质干法刻蚀系统 |
预算金额: | 550.*万元(人民币) |
采购品目: | A*电子工业专用生产设备 |
采购需求概况: | 高深宽比介质干法刻蚀系统用于高深宽比SiO2及玻璃的RIE刻蚀。设备的主要性能指标如下:基片尺寸:最大支持6英寸,并向下兼容4英寸和破片;射频电源:ICP电源:13.56MHz,1500W; 偏压电源:13.56MHz,300W;工艺温度:10℃到30℃可控 |
预计采购时间: | 2023-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
高深宽比介质干法刻蚀系统 | |
项目所在采购意向: | 上海交通大学2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | 上海交通大学 |
采购项目名称: | 高深宽比介质干法刻蚀系统 |
预算金额: | 550.*万元(人民币) |
采购品目: | A*电子工业专用生产设备 |
采购需求概况: | 高深宽比介质干法刻蚀系统用于高深宽比SiO2及玻璃的RIE刻蚀。设备的主要性能指标如下:基片尺寸:最大支持6英寸,并向下兼容4英寸和破片;射频电源:ICP电源:13.56MHz,1500W; 偏压电源:13.56MHz,300W;工艺温度:10℃到30℃可控 |
预计采购时间: | 2023-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
最近搜索
无
热门搜索
无