深圳技术大学政府投资项目-PECVD和磁控溅射系统意向公开
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深圳技术大学政府投资项目-PECVD和磁控溅射系统意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 政府投资项目-PECVD和磁控溅射系统 |
| 预算金额（元）: | 3,946,000.000 |
| 采购品目: | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 1. 采购PECVD系统一套，主要参数如下： 1.1. 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片； 1.2. 极限真空度：≤1.0E-4Pa； 1.3. 长期使用温度范围：150-250℃；温度均匀性：≤±5℃； 1.4. 气体种类至少包含：硅烷、氢气、硼烷、磷烷、氩气、氮气； 2. 采购磁控溅射系统一套，主要参数如下： 2.1 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片； 2.2 溅射靶：≥2套； 2.3 工艺腔极限真空：≤1.0E-4Pa； 2.4 电源： 电源个数≥2个,电源功率≥1kW； 2.5 靶基距可调； 2.6 工艺气体供气至少包含：Ar、O2 |
| 联系人: | 项老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2022-02 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 政府投资项目-PECVD和磁控溅射系统 |
| 预算金额（元）: | 3,946,000.000 |
| 采购品目: | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 1. 采购PECVD系统一套，主要参数如下： 1.1. 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片； 1.2. 极限真空度：≤1.0E-4Pa； 1.3. 长期使用温度范围：150-250℃；温度均匀性：≤±5℃； 1.4. 气体种类至少包含：硅烷、氢气、硼烷、磷烷、氩气、氮气； 2. 采购磁控溅射系统一套，主要参数如下： 2.1 衬底尺寸：≥182mm*182mm，≥1片； 2.2 溅射靶：≥2套； 2.3 工艺腔极限真空：≤1.0E-4Pa； 2.4 电源： 电源个数≥2个,电源功率≥1kW； 2.5 靶基距可调； 2.6 工艺气体供气至少包含：Ar、O2 |
| 联系人: | 项老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2022-02 |
| 备注: | 无 |
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