深圳技术大学政府投资项目-多功能真空镀膜机及氦气检漏仪意向公开
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深圳技术大学政府投资项目-多功能真空镀膜机及氦气检漏仪意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 政府投资项目-多功能真空镀膜机及氦气检漏仪 |
| 预算金额（元）: | 1,570,000.000 |
| 采购品目: | 教学专用仪器 |
| 采购需求概况: | 一、多功能真空镀膜机，主要技术参数： 1. 主要用于实现本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅、微晶硅薄膜沉积。 2. 设备包含进片腔与工艺沉积腔；腔体材料为304不锈钢。 3. 反应系统是由热丝，载板，布气盒等构成；载板可选择放置M4-M12型硅片， 4. 热丝直径Φ1mm；热丝与载板之间间距45-75mm可调。工作温度：1700℃-1850℃； 5. 加热系统主要由加热温控模块、功率控制器、红外加热灯管等组成。加热基板温度150-250℃，热电偶控温，具有自动斜率升温及恒温功能，具有完善的超温、断偶、短路、断气报警保护。 6. 腔室真空获得采用干泵机组和分子泵。工艺腔极限压力≤5X10-4pa，工作压力0.3-10Pa，腔体氦检漏率≤5×10-10 Pa*m3/s； 7. 有效镀膜面积不小于450×450mm；膜层厚度5-100nm。 8. 成膜均匀性：硅片内≤5%；硅片之间≤5%；不同批次间≤5%。 二、氦气检漏仪主要技术参数： 1.最小可检测(真空)漏率：2×10-11Pa.m3/s 2.响应时间：<2s 3.最大入口压力：≤1000Pa 4.分子泵抽速： ≥25L/S 5.抽氦速度：≥3.1L/s 6.配大漏保护功能。 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-01 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 政府投资项目-多功能真空镀膜机及氦气检漏仪 |
| 预算金额（元）: | 1,570,000.000 |
| 采购品目: | 教学专用仪器 |
| 采购需求概况: | 一、多功能真空镀膜机，主要技术参数： 1. 主要用于实现本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅、微晶硅薄膜沉积。 2. 设备包含进片腔与工艺沉积腔；腔体材料为304不锈钢。 3. 反应系统是由热丝，载板，布气盒等构成；载板可选择放置M4-M12型硅片， 4. 热丝直径Φ1mm；热丝与载板之间间距45-75mm可调。工作温度：1700℃-1850℃； 5. 加热系统主要由加热温控模块、功率控制器、红外加热灯管等组成。加热基板温度150-250℃，热电偶控温，具有自动斜率升温及恒温功能，具有完善的超温、断偶、短路、断气报警保护。 6. 腔室真空获得采用干泵机组和分子泵。工艺腔极限压力≤5X10-4pa，工作压力0.3-10Pa，腔体氦检漏率≤5×10-10 Pa*m3/s； 7. 有效镀膜面积不小于450×450mm；膜层厚度5-100nm。 8. 成膜均匀性：硅片内≤5%；硅片之间≤5%；不同批次间≤5%。 二、氦气检漏仪主要技术参数： 1.最小可检测(真空)漏率：2×10-11Pa.m3/s 2.响应时间：<2s 3.最大入口压力：≤1000Pa 4.分子泵抽速： ≥25L/S 5.抽氦速度：≥3.1L/s 6.配大漏保护功能。 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-01 |
| 备注: | 无 |
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