集束选择性原子层沉积装备加工及测试招标预告
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集束选择性原子层沉积装备加工及测试招标预告
| 集束选择性原子层沉积装备加工及测试 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 集束选择性原子层沉积装备加工及测试 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*金属制品的制造业服务和金属加工服务,C*机械工程研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 根据项目设计方案及结构图完成集束选择性原子层沉积装备的加工及测试，装备包含预处理腔体/ALD腔体+ALE主腔体+原子层刻蚀腔体，腔体之间通过集束系统自动输送样品，集成在线检测的硬件闭环控制系统。需采购的加工内容主要包含Plasma 源集成、Plasma 外冷循环系统、Plasma 电源及 RF 监控系统、前处理腔体、前处理腔室气路、前处理加热系统、ALD 高真空腔体、定制前驱体喷头、真空观察窗、温度/压力双闭环控制系统、辅助外场接口、原位光学集成接口、尾气处理系统、真空机械手臂、ALE高真空腔体、机械运动控制模组、高温陶瓷样品托盘等。测试主要包含材料结构及性能表征测试，如纳米压痕测试、红外光谱测试、原子力显微镜测试、半导体探针台测试测试等。最终完成的选择性原子层沉积系统，样品尺寸不小于8英寸，前驱体定量短脉冲输运响应时间<10ms，自研等离子体外场，集束多腔室轮转系统与控制，膜厚控制精度达0.1nm。 |
| 预计采购时间： | 2023-0 |
| 集束选择性原子层沉积装备加工及测试 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2022年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 集束选择性原子层沉积装备加工及测试 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*金属制品的制造业服务和金属加工服务,C*机械工程研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 根据项目设计方案及结构图完成集束选择性原子层沉积装备的加工及测试，装备包含预处理腔体/ALD腔体+ALE主腔体+原子层刻蚀腔体，腔体之间通过集束系统自动输送样品，集成在线检测的硬件闭环控制系统。需采购的加工内容主要包含Plasma 源集成、Plasma 外冷循环系统、Plasma 电源及 RF 监控系统、前处理腔体、前处理腔室气路、前处理加热系统、ALD 高真空腔体、定制前驱体喷头、真空观察窗、温度/压力双闭环控制系统、辅助外场接口、原位光学集成接口、尾气处理系统、真空机械手臂、ALE高真空腔体、机械运动控制模组、高温陶瓷样品托盘等。测试主要包含材料结构及性能表征测试，如纳米压痕测试、红外光谱测试、原子力显微镜测试、半导体探针台测试测试等。最终完成的选择性原子层沉积系统，样品尺寸不小于8英寸，前驱体定量短脉冲输运响应时间<10ms，自研等离子体外场，集束多腔室轮转系统与控制，膜厚控制精度达0.1nm。 |
| 预计采购时间： | 2023-0 |
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