椭偏仪
项目所在采购意向： zycgr*年12月政府采购意向
采购单位： zycgr*
采购项目名称： 椭偏仪
预算金额： 177.*万元(人民币)
采购品目：
A*其他专用仪器仪表
采购需求概况 ：
本项目采购的椭偏仪，主要是作为微纳加工与量子器件研制平台中测试表征设备群的共用光学物性表征设备。在量子器件研制的过程中，精准掌控薄膜材料的折射系数、消光系数、薄膜厚度等参数，是至关重要的。平台承担的关键器件研制工作，需要对介质膜（氧化硅、氧化钽、氧化钽、氮化硅等）、三五族外延材料（砷化镓、砷化铝镓等）等多种不吸光薄膜层材料进行表征。椭偏仪主要是利用线偏振光经过样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质，测得的反射光振幅与相位，结合模型可以拟合出折射系数、消光系数、薄膜厚度等一系列光学参数。针对共用设备用户意见，该设备调研主要需要满足：样品尺寸8寸向下兼容，硅基工艺线；波长覆盖范围300nm~5000nm，可见光/近红外为大多数表征任务的需求，而中红外波段主要来自于痕量分析中红外高反镜制备的需求；自动mapping功能，主要用于调试镀膜设备的膜厚均匀性，以及镀膜设备验收确认等。目前同类设备并无法满足全部需求，尤其是在中红外波段，目前没有可以满足的设备。为了加速微纳加工与量子器件研制平台科研任务的开展，采购一套椭偏仪是必要且急迫的。
预计采购时间： 2022-12
备注：

椭偏仪
项目所在采购意向： zycgr*年12月政府采购意向
采购单位： zycgr*
采购项目名称： 椭偏仪
预算金额： 177.*万元(人民币)
采购品目：
A*其他专用仪器仪表
采购需求概况 ：
本项目采购的椭偏仪，主要是作为微纳加工与量子器件研制平台中测试表征设备群的共用光学物性表征设备。在量子器件研制的过程中，精准掌控薄膜材料的折射系数、消光系数、薄膜厚度等参数，是至关重要的。平台承担的关键器件研制工作，需要对介质膜（氧化硅、氧化钽、氧化钽、氮化硅等）、三五族外延材料（砷化镓、砷化铝镓等）等多种不吸光薄膜层材料进行表征。椭偏仪主要是利用线偏振光经过样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质，测得的反射光振幅与相位，结合模型可以拟合出折射系数、消光系数、薄膜厚度等一系列光学参数。针对共用设备用户意见，该设备调研主要需要满足：样品尺寸8寸向下兼容，硅基工艺线；波长覆盖范围300nm~5000nm，可见光/近红外为大多数表征任务的需求，而中红外波段主要来自于痕量分析中红外高反镜制备的需求；自动mapping功能，主要用于调试镀膜设备的膜厚均匀性，以及镀膜设备验收确认等。目前同类设备并无法满足全部需求，尤其是在中红外波段，目前没有可以满足的设备。为了加速微纳加工与量子器件研制平台科研任务的开展，采购一套椭偏仪是必要且急迫的。
预计采购时间： 2022-12
备注：
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