上海交通大学2023年1至2月政府采购意向-光刻机-A02100399其他光学仪器-预算金额135.000000万元(人民币)
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上海交通大学2023年1至2月政府采购意向-光刻机-A02100399其他光学仪器-预算金额135.000000万元(人民币)
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年1至2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 135.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 计划采购无掩膜光刻机一套，要求具备双光路设计，配有405nm和365nm双光路书写光源，须自动切换，满足对正负胶样品的快速曝光，配有4种直写模式，最高分辨率0.6um，且直写模式可自动切换等。 |
| 预计采购时间： | 2023-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年1至2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 135.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 计划采购无掩膜光刻机一套，要求具备双光路设计，配有405nm和365nm双光路书写光源，须自动切换，满足对正负胶样品的快速曝光，配有4种直写模式，最高分辨率0.6um，且直写模式可自动切换等。 |
| 预计采购时间： | 2023-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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