深圳国际量子研究院等离子去胶机采购项目意向公开
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深圳国际量子研究院等离子去胶机采购项目意向公开
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 等离子去胶机采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,450,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 需采购的IoN Wave 10使用最新的、性能出色的组件和软件，可对工艺参数进行精确控制。它的工艺监测和数据采集软件可实现最严格的去胶质量及过程控制。该设备配备的两路不锈钢质量流量控制器可以完成最大流速≥500 scc/m，同时内部配备的微波源频率可达2.45 GHz，最大功率≥1000 W，功率连续可调。且腔内可以采用无磁性材料，能够兼容多种样品材料加工的多样性。且该设备可提供极高的光刻胶灰化速度的同时，最大程度地降低了产品暴露在静电放电(ESD) 中。 |
| 预计采购时间: | 2023-3 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 等离子去胶机采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,450,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 需采购的IoN Wave 10使用最新的、性能出色的组件和软件，可对工艺参数进行精确控制。它的工艺监测和数据采集软件可实现最严格的去胶质量及过程控制。该设备配备的两路不锈钢质量流量控制器可以完成最大流速≥500 scc/m，同时内部配备的微波源频率可达2.45 GHz，最大功率≥1000 W，功率连续可调。且腔内可以采用无磁性材料，能够兼容多种样品材料加工的多样性。且该设备可提供极高的光刻胶灰化速度的同时，最大程度地降低了产品暴露在静电放电(ESD) 中。 |
| 预计采购时间: | 2023-3 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
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