嘉庚创新实验室2023年02月至2023年03月政府采购意向

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嘉庚创新实验室2023年02月至2023年03月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将嘉庚创新实验室2023年度采购意向公开如下:

序号采购项目名称采购需求概况预算金额(万元)预计采购时间备注
1X射线吸收谱仪
采购内容:X射线吸收谱仪
采购数量:1套
主要功能或目标:X射线吸收谱(XAS)是一种强大的物理化学状态分析技术,可提供材料的氧化态、键长、配位环境等关键微观信息,广泛应用于催化、电化学能源和半导体器件等领域。同时,可结合原位监测技术追踪催化过程中催化剂氧化态及结构的变化,及电池充放电循环过程中电极材料氧化态及结构的变化。结合XAS和X射线光电子能谱(XPS)技术,能从实验上给出半导体等材料的电子结构信息,从而指导器件设计。
需满足的要求:1、EXAFS 能量分辨率0.5-1.5 eV2、 宽覆盖能量范围:5 keV - 18 keV; 光子通量: >3x10^5 photons/sec/eV。3.XAFS模式重复性:<50 meV 能量尺度漂移。4.XES模式能量分辨率:1.0 -1.5 eV (7-9 keV)等详见招标文件。
900.*2023年02月
2高真空有机金属蒸发镀膜系统
采购内容:高真空有机金属蒸发镀膜系统
采购数量:1套
主要功能或目标:可用于在玻璃基板(基板尺寸至少支持1200*1200mm)表面沉积金属、有机物、无机物等薄膜,传输系统为卧式1200mm。
需满足的要求:1.真空极限: 2.0×10-5Pa;漏率: 5×10-8Pa*L/S; 2.基片台:抽屉式结构,气动基片大挡板。样品台可加热(0-300℃,±1℃)。基片与蒸发源距离可调,电机升降调节范围 380~280mm 可调;3.蒸发源及电源:配备蒸发源 (最高温度 1500 ℃);具有恒流和恒压二种可切换驱动模式的蒸发电源。有机蒸发束源炉及真空有机蒸发电源;
300.*2023年03月4.多路膜厚控制系统:水冷探头;显示控制精度 0.01埃;膜厚仪可自动控制金属蒸发电源输出; 详见招标文件。
3钙钛矿 P1P2P3 激光划刻设备
采购内容:钙钛矿 P1P2P3 激光划刻设备
采购数量:1套
主要功能或目标:用于钙钛矿太阳能电池导电层 TCO 层、钙钛矿吸收层及电极层刻线。
需满足的要求:1.整套设备需支持厚度在 2.5-3.5 之间的 1200*1000 mm 电池片激光划刻;2.整套系统包含上下料传送系统和激光划刻系统,其中 P1 激光划刻为红外纳秒,P2P3 划刻为绿光皮秒;3. P1/P2/P3 划刻线宽分别应为 ~30/40/40 um。
550.*2023年03月
4反应式等离子体镀膜设备/用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀
采购内容:用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀
采购数量:1套
主要功能或目标:用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀。支持多种氧化物在低温状态下完成精密度较高,可控度较高的蒸镀。
需满足的要求:1. 整套系统含真空系统、等离子镀膜产生系统、电气控制系统、上/下料站所组成,以完成对基板的单面镀膜;2. 支持蒸镀面积300x300x3.2 mm;3. 蒸镀材料ITO/IWO等,基片蒸镀表面温度≤100°C,100nm时表面透光率≥88%;4.膜厚均匀性≤5%,100nm厚度时表面方阻≤50Ω/□;5. 单片蒸镀节拍时长≤320S(@IWO膜厚100nm)。详见招标文件。
630.*2023年03月
5高分辨X射线衍射仪
采购内容:高分辨X射线衍射仪
采购数量:1套
主要功能或目标:该X射线衍射仪主要用于氮化物LED外延晶圆的结构质量表征和残余应力分析,测量的内容包括:theta/2theta, Omega/rocking curve, 快速RSM, Phi-scan 和 XRR。
需满足的要求:需要满足6英寸样品的测量,同时可以测量8英寸样品;要配备自动对准和自动测量功能,并根据模型完成数据的拟合分析;X光管功率:1.8kW,测角仪最小步长:0.0001度,样品台:chi -5~55度,Phi 360度,XY轴 -50~50mm,Z轴 10mm
420.*2023年03月
6PL-Mapping 光致发光光谱仪
采购内容:PL-Mapping 光致发光光谱仪
采购数量:1套
主要功能或目标:用于LED外延片光致发光测量的光谱仪,主要实现6寸Wafer全Mapping功能,可Mapping参数需要包括:波长、波长半波宽、发光强度、外延厚度、翘曲。
需满足的要求:主要技术参数需要有375nm、532nm等激光器,需要可激发量测蓝光到红光LED波段;单色仪, 至少两个光栅,300~1200nm;光谱探测器范围200~1000nm,解析度/pixel:0.13nm,可重复性(nm):+/-0.52nm;厚度量测需要可Mapping,准确性差异<2%;翘曲(Bow)量测解析度: 0.1mm ~ 5mm。
460.*2023年03月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

嘉庚创新实验室

2023年02月06日

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将嘉庚创新实验室2023年度采购意向公开如下:

序号采购项目名称采购需求概况预算金额(万元)预计采购时间备注
1X射线吸收谱仪
采购内容:X射线吸收谱仪
采购数量:1套
主要功能或目标:X射线吸收谱(XAS)是一种强大的物理化学状态分析技术,可提供材料的氧化态、键长、配位环境等关键微观信息,广泛应用于催化、电化学能源和半导体器件等领域。同时,可结合原位监测技术追踪催化过程中催化剂氧化态及结构的变化,及电池充放电循环过程中电极材料氧化态及结构的变化。结合XAS和X射线光电子能谱(XPS)技术,能从实验上给出半导体等材料的电子结构信息,从而指导器件设计。
需满足的要求:1、EXAFS 能量分辨率0.5-1.5 eV2、 宽覆盖能量范围:5 keV - 18 keV; 光子通量: >3x10^5 photons/sec/eV。3.XAFS模式重复性:<50 meV 能量尺度漂移。4.XES模式能量分辨率:1.0 -1.5 eV (7-9 keV)等详见招标文件。
900.*2023年02月
2高真空有机金属蒸发镀膜系统
采购内容:高真空有机金属蒸发镀膜系统
采购数量:1套
主要功能或目标:可用于在玻璃基板(基板尺寸至少支持1200*1200mm)表面沉积金属、有机物、无机物等薄膜,传输系统为卧式1200mm。
需满足的要求:1.真空极限: 2.0×10-5Pa;漏率: 5×10-8Pa*L/S; 2.基片台:抽屉式结构,气动基片大挡板。样品台可加热(0-300℃,±1℃)。基片与蒸发源距离可调,电机升降调节范围 380~280mm 可调;3.蒸发源及电源:配备蒸发源 (最高温度 1500 ℃);具有恒流和恒压二种可切换驱动模式的蒸发电源。有机蒸发束源炉及真空有机蒸发电源;
300.*2023年03月4.多路膜厚控制系统:水冷探头;显示控制精度 0.01埃;膜厚仪可自动控制金属蒸发电源输出; 详见招标文件。
3钙钛矿 P1P2P3 激光划刻设备
采购内容:钙钛矿 P1P2P3 激光划刻设备
采购数量:1套
主要功能或目标:用于钙钛矿太阳能电池导电层 TCO 层、钙钛矿吸收层及电极层刻线。
需满足的要求:1.整套设备需支持厚度在 2.5-3.5 之间的 1200*1000 mm 电池片激光划刻;2.整套系统包含上下料传送系统和激光划刻系统,其中 P1 激光划刻为红外纳秒,P2P3 划刻为绿光皮秒;3. P1/P2/P3 划刻线宽分别应为 ~30/40/40 um。
550.*2023年03月
4反应式等离子体镀膜设备/用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀
采购内容:用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀
采购数量:1套
主要功能或目标:用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀。支持多种氧化物在低温状态下完成精密度较高,可控度较高的蒸镀。
需满足的要求:1. 整套系统含真空系统、等离子镀膜产生系统、电气控制系统、上/下料站所组成,以完成对基板的单面镀膜;2. 支持蒸镀面积300x300x3.2 mm;3. 蒸镀材料ITO/IWO等,基片蒸镀表面温度≤100°C,100nm时表面透光率≥88%;4.膜厚均匀性≤5%,100nm厚度时表面方阻≤50Ω/□;5. 单片蒸镀节拍时长≤320S(@IWO膜厚100nm)。详见招标文件。
630.*2023年03月
5高分辨X射线衍射仪
采购内容:高分辨X射线衍射仪
采购数量:1套
主要功能或目标:该X射线衍射仪主要用于氮化物LED外延晶圆的结构质量表征和残余应力分析,测量的内容包括:theta/2theta, Omega/rocking curve, 快速RSM, Phi-scan 和 XRR。
需满足的要求:需要满足6英寸样品的测量,同时可以测量8英寸样品;要配备自动对准和自动测量功能,并根据模型完成数据的拟合分析;X光管功率:1.8kW,测角仪最小步长:0.0001度,样品台:chi -5~55度,Phi 360度,XY轴 -50~50mm,Z轴 10mm
420.*2023年03月
6PL-Mapping 光致发光光谱仪
采购内容:PL-Mapping 光致发光光谱仪
采购数量:1套
主要功能或目标:用于LED外延片光致发光测量的光谱仪,主要实现6寸Wafer全Mapping功能,可Mapping参数需要包括:波长、波长半波宽、发光强度、外延厚度、翘曲。
需满足的要求:主要技术参数需要有375nm、532nm等激光器,需要可激发量测蓝光到红光LED波段;单色仪, 至少两个光栅,300~1200nm;光谱探测器范围200~1000nm,解析度/pixel:0.13nm,可重复性(nm):+/-0.52nm;厚度量测需要可Mapping,准确性差异<2%;翘曲(Bow)量测解析度: 0.1mm ~ 5mm。
460.*2023年03月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

嘉庚创新实验室

2023年02月06日

    
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