华南理工大学2023年2月政府意向-原子层沉积系统-A02100503工艺试验机-预算金额200.000000万元(人民币)招标预告
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华南理工大学2023年2月政府意向-原子层沉积系统-A02100503工艺试验机-预算金额200.000000万元(人民币)招标预告
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2023年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 200.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 1.项目名称：原子层沉积系统，数量：1台 2.主要功能： 原子层沉积设备主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。 3.主要技术参数： 1）主控系统为PLC，采用PID温度控制方式；设备本底真空≤1 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s。 2）▲反应腔：反应腔体材质为316L不锈钢，漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s，样品台尺寸≥φ100mm，▲ 腔室为立体式加热方式，包括2个独立的加热装置，样品台加热温度最高≥400 oC，温度控制精度≤±1 oC。 3）前驱体源输送系统配备5路前驱体源输送管路，最高加热温度≥180 oC。控制精度≤±1 oC；▲ ALD专用阀门为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间≤5ms，采用耐高温执行器，耐温高≥200 oC， ▲ 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar；真空抽气管道可以烘烤≥150 oC，且真空泵前级配置热阱，加热温度≥300 oC，控制精度≤±1oC；臭氧发生器产量最高≥10 g/h，浓度≥100 g/m3；▲ 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 5）控制系统 ▲ 操作系统可编辑配方，可对工艺参数沉积温度、阀门编号、前驱体源脉冲时间、清洗时间、流量进行编辑、保存以及导入配方； 6）等离子体系统提供2路可用于等离子体工艺的气路，包含2个ALD专用隔膜阀和进口质量流量控制器；▲采用13.56 MHz射频电源，功率0-1000 W可调，配备自动匹配器，匹配时间精度优于5秒。 7）粉体系统 独立反应腔：圆柱形可旋转腔，反应腔可拆卸，配备体积为1L的反应腔。腔体采用316 L不锈钢材质，漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s。旋转轴处采用磁流体密封，且旋转的速度可调节。旋转反应腔最高加热温度可达300℃。温度控制精度满足±1℃。 4.质量要求： 由货物制造厂商提供1 年或以上免费上门保修服务，免费上门安装调试，操作培训服务。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2023年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 200.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 1.项目名称：原子层沉积系统，数量：1台 2.主要功能： 原子层沉积设备主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。 3.主要技术参数： 1）主控系统为PLC，采用PID温度控制方式；设备本底真空≤1 Pa；设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s。 2）▲反应腔：反应腔体材质为316L不锈钢，漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s，样品台尺寸≥φ100mm，▲ 腔室为立体式加热方式，包括2个独立的加热装置，样品台加热温度最高≥400 oC，温度控制精度≤±1 oC。 3）前驱体源输送系统配备5路前驱体源输送管路，最高加热温度≥180 oC。控制精度≤±1 oC；▲ ALD专用阀门为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间≤5ms，采用耐高温执行器，耐温高≥200 oC， ▲ 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar；真空抽气管道可以烘烤≥150 oC，且真空泵前级配置热阱，加热温度≥300 oC，控制精度≤±1oC；臭氧发生器产量最高≥10 g/h，浓度≥100 g/m3；▲ 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 5）控制系统 ▲ 操作系统可编辑配方，可对工艺参数沉积温度、阀门编号、前驱体源脉冲时间、清洗时间、流量进行编辑、保存以及导入配方； 6）等离子体系统提供2路可用于等离子体工艺的气路，包含2个ALD专用隔膜阀和进口质量流量控制器；▲采用13.56 MHz射频电源，功率0-1000 W可调，配备自动匹配器，匹配时间精度优于5秒。 7）粉体系统 独立反应腔：圆柱形可旋转腔，反应腔可拆卸，配备体积为1L的反应腔。腔体采用316 L不锈钢材质，漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s。旋转轴处采用磁流体密封，且旋转的速度可调节。旋转反应腔最高加热温度可达300℃。温度控制精度满足±1℃。 4.质量要求： 由货物制造厂商提供1 年或以上免费上门保修服务，免费上门安装调试，操作培训服务。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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