南京航空航天大学2023年3月政府采购意向-原子层沉积系统-A02062002电气物理设备-预算金额259.580000万元(人民币)
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南京航空航天大学2023年3月政府采购意向-原子层沉积系统-A02062002电气物理设备-预算金额259.580000万元(人民币)
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京航空航天大学2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 259.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统主机 1 套反应腔(带粉末沉积腔) 1 套液态源柜 1 个液态脉冲系统 3 套300°加热源系统 2 套200°加热源系统 1 套气体脉冲源 1 套颗粒捕捉器和反映残余物燃烧器 1 套扩散增强器 1 个高抽速耐腐蚀干泵 1 台 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京航空航天大学2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 259.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统主机 1 套反应腔(带粉末沉积腔) 1 套液态源柜 1 个液态脉冲系统 3 套300°加热源系统 2 套200°加热源系统 1 套气体脉冲源 1 套颗粒捕捉器和反映残余物燃烧器 1 套扩散增强器 1 个高抽速耐腐蚀干泵 1 台 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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