CLAMP,GAS DIRECTOR,LWR ISO 713-*-001 件 6 SPACER,DIRECTOR,PROCESS GAS 716-*-001 件 2 灯座紧固件 A39-002-01 件 3 灯座 A39-004-01 个 3 O-Ring,Silicone,Chamber,Upperinner A78-005-01 件 5 O-Ring,Siiicone,Chamber,BottomCoverPlate A78-007-01 件 5 O-Ring,Silicone,Chamber,Door A78-009-01 件 5 O-Ring,Chemraz,PlasmaTube,Bottom,Large A78-034-01 件 5 星型密封圈 OP2600 件 2 氟胶密封圈 9.19*2.62 件 24 氟胶密封圈 11.8*2.4 个 8 氟胶密封圈 319.3*5.7 个 8 氟胶密封圈 325*7 个 8 纯水气动阀（不带调节） DIBPOL8P-C 件 1 汞灯 HBO2001W/NIEL或SUV-2001NIL 件 4 汞灯 HBO2011W/NIL 件 2 6寸压片 ZWZF-01-05 个 500 LIFT气缸 0190-00173 个 2 largeface白 0030-09049 个 6 步进电机 0090-02952 件 1 防水帽 TN16-WR 件 50 SIC保护仪 SHARE_1 个 1 真空计 627D01TBCB/1TORR 个 1 铜导片 0020-29409 件 12 加热视窗 0200-09158(HJ-SO-307) 件 4 流量计 UFC-1660 件 1 oxide硅环（6寸） 0200-09626 个 1 腔盖加热组件 0090-35062 个 1

CLAMP,GAS DIRECTOR,LWR ISO 713-*-001 件 6 SPACER,DIRECTOR,PROCESS GAS 716-*-001 件 2 灯座紧固件 A39-002-01 件 3 灯座 A39-004-01 个 3 O-Ring,Silicone,Chamber,Upperinner A78-005-01 件 5 O-Ring,Siiicone,Chamber,BottomCoverPlate A78-007-01 件 5 O-Ring,Silicone,Chamber,Door A78-009-01 件 5 O-Ring,Chemraz,PlasmaTube,Bottom,Large A78-034-01 件 5 星型密封圈 OP2600 件 2 氟胶密封圈 9.19*2.62 件 24 氟胶密封圈 11.8*2.4 个 8 氟胶密封圈 319.3*5.7 个 8 氟胶密封圈 325*7 个 8 纯水气动阀（不带调节） DIBPOL8P-C 件 1 汞灯 HBO2001W/NIEL或SUV-2001NIL 件 4 汞灯 HBO2011W/NIL 件 2 6寸压片 ZWZF-01-05 个 500 LIFT气缸 0190-00173 个 2 largeface白 0030-09049 个 6 步进电机 0090-02952 件 1 防水帽 TN16-WR 件 50 SIC保护仪 SHARE_1 个 1 真空计 627D01TBCB/1TORR 个 1 铜导片 0020-29409 件 12 加热视窗 0200-09158(HJ-SO-307) 件 4 流量计 UFC-1660 件 1 oxide硅环（6寸） 0200-09626 个 1 腔盖加热组件 0090-35062 个 1