松山湖材料实验室2023年02月至2023年08月政府采购意向
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松山湖材料实验室2023年02月至2023年08月政府采购意向
松山湖材料实验室2023年02月至2023年08月政府采购意向
发布机构：发布时间：2023-02-16 10:00:05
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年02月至2023年08月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室临界点干燥仪设备采购项目 | 标的名称：临界点干燥仪 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片MEMS等器件的临界点干燥工艺。 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸：2-8寸；2、干燥器件：MEMS器件、生物传感器及各类微机械传感器等;3、干燥介质：液态二氧化碳（LCO2）；4、单次8寸晶圆处理能力：≥5片；5、内置过滤装置，过滤流进样品室的液态二氧化碳：≤0.4um；6、压力范围：0-2000psi；7、温度范围：-30至60℃。 | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 1,700,000.00 | 2023年08月 | |
| 2 | 松山湖材料实验室自动清洗设备采购项目 | 标的名称：自动清洗设备 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中Si基及化合物半导体晶圆的有机清洗 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸2-8寸，同时兼容两个以上尺寸晶圆；2、干进干出，自动传片、自动上液；3、单次可进行至少1个25片装cassette清洗工艺（6/8英寸）；5、槽体数量：≥4个；6、槽内工艺控制：自动控制；7、配备超声/兆声清洗 | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 1,500,000.00 | 2023年08月 | |
| 3 | 松山湖材料实验室高精度扫描电子显微镜设备采购项目 | 标的名称：高精度扫描电子显微镜 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中电子束曝光样品的小线宽测量、Si工艺深硅刻蚀结构剖面观测、硅通孔TSV工艺, 深刻蚀硅通孔侧壁等。 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸：最大可以兼容8寸；2、电子枪二次电子分辨率≤1.*@*5kV， ≤1.*@*kV；3、放大倍数可调节范围不小于*倍；4、样品室内二次电子探测器、背散射电子探测器5、不间断稳压电源；6、电子束流可调范围不小于3pA~20nA，束流稳定性优于0.5%/h；7、五轴优中心马达驱动样品台可移动范围X、Y不小于100mm；Z不小于50mm；倾斜范围不小于-3-60度；可360度连续旋转；8、预留能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口和软件通讯接口； | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 4,500,000.00 | 2023年08月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2023年02月16日
松山湖材料实验室2023年02月至2023年08月政府采购意向
发布机构：发布时间：2023-02-16 10:00:05
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年02月至2023年08月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室临界点干燥仪设备采购项目 | 标的名称：临界点干燥仪 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片MEMS等器件的临界点干燥工艺。 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸：2-8寸；2、干燥器件：MEMS器件、生物传感器及各类微机械传感器等;3、干燥介质：液态二氧化碳（LCO2）；4、单次8寸晶圆处理能力：≥5片；5、内置过滤装置，过滤流进样品室的液态二氧化碳：≤0.4um；6、压力范围：0-2000psi；7、温度范围：-30至60℃。 | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 1,700,000.00 | 2023年08月 | |
| 2 | 松山湖材料实验室自动清洗设备采购项目 | 标的名称：自动清洗设备 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中Si基及化合物半导体晶圆的有机清洗 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸2-8寸，同时兼容两个以上尺寸晶圆；2、干进干出，自动传片、自动上液；3、单次可进行至少1个25片装cassette清洗工艺（6/8英寸）；5、槽体数量：≥4个；6、槽内工艺控制：自动控制；7、配备超声/兆声清洗 | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 1,500,000.00 | 2023年08月 | |
| 3 | 松山湖材料实验室高精度扫描电子显微镜设备采购项目 | 标的名称：高精度扫描电子显微镜 标的数量：1 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中电子束曝光样品的小线宽测量、Si工艺深硅刻蚀结构剖面观测、硅通孔TSV工艺, 深刻蚀硅通孔侧壁等。 需满足的要求：需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸：最大可以兼容8寸；2、电子枪二次电子分辨率≤1.*@*5kV， ≤1.*@*kV；3、放大倍数可调节范围不小于*倍；4、样品室内二次电子探测器、背散射电子探测器5、不间断稳压电源；6、电子束流可调范围不小于3pA~20nA，束流稳定性优于0.5%/h；7、五轴优中心马达驱动样品台可移动范围X、Y不小于100mm；Z不小于50mm；倾斜范围不小于-3-60度；可360度连续旋转；8、预留能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口和软件通讯接口； | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 4,500,000.00 | 2023年08月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2023年02月16日
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