电子科技大学2023年4月政府意向-沉积、量测系统-A021003-光学仪器、A021127-预算金额641.000000万元(人民币)招标预告
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电子科技大学2023年4月政府意向-沉积、量测系统-A021003-光学仪器、A021127-预算金额641.000000万元(人民币)招标预告
| 沉积、量测系统 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2023年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 沉积、量测系统 |
| 预算金额： | 641.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学仪器、A*-综合测量仪、A*-电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 包含显微镜2台、台阶仪2台、等离子增强化学气相沉积1台、磁控溅射镀膜机1台和电子束蒸发台2台，要求交货期小于等于1年，质保期大于等于1年。 显微镜：用于样品关键尺寸和形貌的测量和观察；台阶仪：用于测量薄膜材料厚度测量。等离子增强化学气相沉积：用于氧化硅、氮化硅、非晶硅薄膜沉积；磁控溅射镀膜机：用于金属、氧化物、氮化物等薄膜沉积；电子束蒸发台：用于金属薄膜沉积。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 沉积、量测系统 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2023年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 沉积、量测系统 |
| 预算金额： | 641.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-光学仪器、A*-综合测量仪、A*-电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 包含显微镜2台、台阶仪2台、等离子增强化学气相沉积1台、磁控溅射镀膜机1台和电子束蒸发台2台，要求交货期小于等于1年，质保期大于等于1年。 显微镜：用于样品关键尺寸和形貌的测量和观察；台阶仪：用于测量薄膜材料厚度测量。等离子增强化学气相沉积：用于氧化硅、氮化硅、非晶硅薄膜沉积；磁控溅射镀膜机：用于金属、氧化物、氮化物等薄膜沉积；电子束蒸发台：用于金属薄膜沉积。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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