上海交通大学2023年3月政府采购意向-无掩模光刻曝光机-A021099其他仪器仪表-预算金额145.000000万元(人民币)
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上海交通大学2023年3月政府采购意向-无掩模光刻曝光机-A021099其他仪器仪表-预算金额145.000000万元(人民币)
| 无掩模光刻曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 无掩模光刻曝光机 |
| 预算金额： | 145.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 本项目拟采购的无掩模光刻曝光机一套；采用聚焦光斑直写式工作模式，其无需物理掩膜版，实验灵活高效。通过软件编辑光刻图案，控制激光开关与线性马达运动，直接对光刻胶的指定位置进行曝光，从而达到光刻的目的。在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型，从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。同时直写分辨率可达到0.4μm的精细特征尺寸，可同时满足本课题组对实验效率及灵活性，以及加工精度的要求。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 无掩模光刻曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 无掩模光刻曝光机 |
| 预算金额： | 145.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 本项目拟采购的无掩模光刻曝光机一套；采用聚焦光斑直写式工作模式，其无需物理掩膜版，实验灵活高效。通过软件编辑光刻图案，控制激光开关与线性马达运动，直接对光刻胶的指定位置进行曝光，从而达到光刻的目的。在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型，从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。同时直写分辨率可达到0.4μm的精细特征尺寸，可同时满足本课题组对实验效率及灵活性，以及加工精度的要求。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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