A*其他仪器仪表

超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统，1套，超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统可以实现镁基结构和功能薄膜制备，直流加射频电源设计除了实现高质量金属、氧化物、氮化物等薄膜制备，多靶设计能够实现多金属及氧化物、碳化物等共溅射以及多级次膜层的原位制备，避免了开舱换靶带来的氧化和制备缺陷，超高真空条件下能够精确调控薄膜显微组织和界面结构，亦是活泼金属镁材料制备的有效保障。该系统设计搭载的自由控温组件可有效增加磁控溅射调控维度，可进行磁控溅射过程中的冷却速度调控以及溅射完成后薄膜后续加热处理，同时搭载的测温系统，可原位监测溅射温度，为材料微结构精确控制以及显微组织形成机理提供了有效数据。超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统可以实现高质量多级次多组分金属、氧化物、氮化物等薄膜制备，可满足先进材料、物理、化学、生物等领域的前沿纳米材料研究，可以实现材料的高通量制备。超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统要求控制方式为PC+PLC全自动控制，6英寸可旋转工件盘，基于UHV低温泵+干式机械泵的真空获得系统，共焦溅射，5个直径3英寸可调角度靶枪，2套1000W直流电源+2套600瓦射频电源，可多靶枪实现共溅射，质量流量计3个，自动进样室，极限真空5E-8Torr，抽气速率为工艺腔从大气抽到5E-6Torr的时间少于30分钟，工艺腔传送样品后恢复到5E-4Pa的时间少于15分钟，基片控温为-20℃至200℃可自由设置，控温精度优于±5℃，可进行基片测温，基片旋转速度0～20转/分钟连续可调，批次间重复性优于±2%，镀膜均匀性为直径6英寸范围内优于±5%。供货期：要求在设备安装现场条件就位后15个工作日内完成安装调试工作，卖方在设备出厂前，卖方为买方操作及维修人员提供现场培训，培训内容包括设备操作、维护、工艺编程、易损部件的更换和常见故障的处理，使其能够正常使用和维护设备，设备在客户现场安装调试时，卖方为买方操作及维修人员提供5天的免费培训，内容包括设备操作、维护保养、简易故障排查，提供12个月保修，从设备安装验收合格之日起计算，保修期内服务方式: 保修期内所有人工和部件维修更换费用均由卖方负责，设备保修期结束后，卖方提供有偿维修服务并以优惠价提供所需更换备件，并提供终身技术支持服务，在维修响应方面，满足国家法定工作时间接到用户故障报告，4小时内电话或者邮件指导用户确定故障原因，如果用户不能确定故障，卖方工程师48小时内到达用户现场进行故障排查。

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超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统，1套，超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统可以实现镁基结构和功能薄膜制备，直流加射频电源设计除了实现高质量金属、氧化物、氮化物等薄膜制备，多靶设计能够实现多金属及氧化物、碳化物等共溅射以及多级次膜层的原位制备，避免了开舱换靶带来的氧化和制备缺陷，超高真空条件下能够精确调控薄膜显微组织和界面结构，亦是活泼金属镁材料制备的有效保障。该系统设计搭载的自由控温组件可有效增加磁控溅射调控维度，可进行磁控溅射过程中的冷却速度调控以及溅射完成后薄膜后续加热处理，同时搭载的测温系统，可原位监测溅射温度，为材料微结构精确控制以及显微组织形成机理提供了有效数据。超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统可以实现高质量多级次多组分金属、氧化物、氮化物等薄膜制备，可满足先进材料、物理、化学、生物等领域的前沿纳米材料研究，可以实现材料的高通量制备。超高真空自由控温五靶自动磁控溅射系统要求控制方式为PC+PLC全自动控制，6英寸可旋转工件盘，基于UHV低温泵+干式机械泵的真空获得系统，共焦溅射，5个直径3英寸可调角度靶枪，2套1000W直流电源+2套600瓦射频电源，可多靶枪实现共溅射，质量流量计3个，自动进样室，极限真空5E-8Torr，抽气速率为工艺腔从大气抽到5E-6Torr的时间少于30分钟，工艺腔传送样品后恢复到5E-4Pa的时间少于15分钟，基片控温为-20℃至200℃可自由设置，控温精度优于±5℃，可进行基片测温，基片旋转速度0～20转/分钟连续可调，批次间重复性优于±2%，镀膜均匀性为直径6英寸范围内优于±5%。供货期：要求在设备安装现场条件就位后15个工作日内完成安装调试工作，卖方在设备出厂前，卖方为买方操作及维修人员提供现场培训，培训内容包括设备操作、维护、工艺编程、易损部件的更换和常见故障的处理，使其能够正常使用和维护设备，设备在客户现场安装调试时，卖方为买方操作及维修人员提供5天的免费培训，内容包括设备操作、维护保养、简易故障排查，提供12个月保修，从设备安装验收合格之日起计算，保修期内服务方式: 保修期内所有人工和部件维修更换费用均由卖方负责，设备保修期结束后，卖方提供有偿维修服务并以优惠价提供所需更换备件，并提供终身技术支持服务，在维修响应方面，满足国家法定工作时间接到用户故障报告，4小时内电话或者邮件指导用户确定故障原因，如果用户不能确定故障，卖方工程师48小时内到达用户现场进行故障排查。