中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-双束微加工系统-A02062002-电气物理设备-预算金额700.000000万元(人民币)
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中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-双束微加工系统-A02062002-电气物理设备-预算金额700.000000万元(人民币)
| 双束微加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 双束微加工系统 |
| 预算金额： | 700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：双束微加工系统主要功能：用于样品微观结构分析、质量控制和失效分析。可同时实现器件微观尺度的实时观察、纳米级微加工及微米级操控；实现器件断层结构的逐层剥离与实时的亚表面观察；实现精确定位基础上的透射电镜制样功能。采购标的数量：1台质量要求：1、包含场发射电子枪及聚焦离子枪；2、电子束加速电压范围不小于200V-30kV；3、电子束电流范围不小于0.8pA-176nA；4、电子束成像分辨率15kV下不高于0.6nm，1kV下不高于1nm；5、离子束加速电压范围不小于500V-30kV；6、离子束电流范围不小于1pA-100nA；7、离子束成像分辨率30kV下不高于4nm；8、TEM制样最小厚度不高于50nm。服务、安全、时限等要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双束微加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 双束微加工系统 |
| 预算金额： | 700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：双束微加工系统主要功能：用于样品微观结构分析、质量控制和失效分析。可同时实现器件微观尺度的实时观察、纳米级微加工及微米级操控；实现器件断层结构的逐层剥离与实时的亚表面观察；实现精确定位基础上的透射电镜制样功能。采购标的数量：1台质量要求：1、包含场发射电子枪及聚焦离子枪；2、电子束加速电压范围不小于200V-30kV；3、电子束电流范围不小于0.8pA-176nA；4、电子束成像分辨率15kV下不高于0.6nm，1kV下不高于1nm；5、离子束加速电压范围不小于500V-30kV；6、离子束电流范围不小于1pA-100nA；7、离子束成像分辨率30kV下不高于4nm；8、TEM制样最小厚度不高于50nm。服务、安全、时限等要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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