中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-高精度化学平坦化设备-A02330300-电子工业生产设备-预算金额1600.000000万元(人民币)
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中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-高精度化学平坦化设备-A02330300-电子工业生产设备-预算金额1600.000000万元(人民币)
| 高精度化学平坦化设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 高精度化学平坦化设备 |
| 预算金额： | 1600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 新采购的设备为华海清科 Universal-200 Smart(8 inch) CMP 。该设备用于GAA器件和电路集成中晶圆表面复杂凸起图形的高精度平坦化。在GAA器件和电路集成中，为实现高密度（4k）SRAM阵列图形的集成与演示，需要制备适配的高密度浅沟槽隔离与高k金属栅结构。其中，高精度化学平坦化设备是获得表面高度平整浅沟槽隔离、高k金属栅结构的核心工艺设备。目前先导中心配置的化学机械平坦化设备工艺控制精度无法满足项目高密度图形阵列的研制需求，故需要配有高精度多压力区间可控抛光头以及高灵敏度终点探测系统的化学机械平坦化设备。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度化学平坦化设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 高精度化学平坦化设备 |
| 预算金额： | 1600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 新采购的设备为华海清科 Universal-200 Smart(8 inch) CMP 。该设备用于GAA器件和电路集成中晶圆表面复杂凸起图形的高精度平坦化。在GAA器件和电路集成中，为实现高密度（4k）SRAM阵列图形的集成与演示，需要制备适配的高密度浅沟槽隔离与高k金属栅结构。其中，高精度化学平坦化设备是获得表面高度平整浅沟槽隔离、高k金属栅结构的核心工艺设备。目前先导中心配置的化学机械平坦化设备工艺控制精度无法满足项目高密度图形阵列的研制需求，故需要配有高精度多压力区间可控抛光头以及高灵敏度终点探测系统的化学机械平坦化设备。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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