中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-超低损伤复杂结构干法刻蚀系统-A02330300-电子工业生产设备-预算金额435.000000万元(人民币)
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中国科学院微电子研究所2023年4至12月政府采购意向-超低损伤复杂结构干法刻蚀系统-A02330300-电子工业生产设备-预算金额435.000000万元(人民币)
| 超低损伤复杂结构干法刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 超低损伤复杂结构干法刻蚀系统 |
| 预算金额： | 435.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：超低损伤复杂结构干法刻蚀系统主要功能：用于刻蚀多层氧化物、金属材料堆叠结构，实现低损伤、高精度刻蚀，实现复杂形貌刻蚀。采购标的数量：1台质量要求：1、兼容8寸及以下晶圆、不规则衬底；2、配置最大功率1000W以上的高功率ICP源，2个射频RF源（不同工艺需求智能切换）、高电导率的真空系统、高效率热传导基板、高精度激光止点探测器、高效等离子清洁、脉冲控制模块、双层石英腔壁、易更换的石英内衬；3、反应腔内可控的衬底温度范围：-30℃到+150℃；4、可实现原子层级低损伤刻蚀，该模式下最低启辉射频功率5W，刻蚀速率低至1-2nm/min。服务、安全、时限等要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超低损伤复杂结构干法刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 超低损伤复杂结构干法刻蚀系统 |
| 预算金额： | 435.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：超低损伤复杂结构干法刻蚀系统主要功能：用于刻蚀多层氧化物、金属材料堆叠结构，实现低损伤、高精度刻蚀，实现复杂形貌刻蚀。采购标的数量：1台质量要求：1、兼容8寸及以下晶圆、不规则衬底；2、配置最大功率1000W以上的高功率ICP源，2个射频RF源（不同工艺需求智能切换）、高电导率的真空系统、高效率热传导基板、高精度激光止点探测器、高效等离子清洁、脉冲控制模块、双层石英腔壁、易更换的石英内衬；3、反应腔内可控的衬底温度范围：-30℃到+150℃；4、可实现原子层级低损伤刻蚀，该模式下最低启辉射频功率5W，刻蚀速率低至1-2nm/min。服务、安全、时限等要求：提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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