深圳国际量子研究院超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目意向公开

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深圳国际量子研究院超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目意向公开

深圳国际量子研究院超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目意向公开
采购单位:深圳国 (略)
项目名称:超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目
预算金额（元）:7,400,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:因科研需求申请采购1套超高真空变温扫描隧道显微镜，技术参数要求如下：
1 扫描头
1.1 扫描头采用三维独立的粗定位系统，其中水平粗定位为样品移动，垂直粗定位为针尖移动
1.2 扫描头粗调移动范围：水平不小于4mm*4mm；垂直不小于 10mm
1.3 扫描头扫描范围XYZ不小于：11um * 11um * 2um @ T=300K，4um *4um * 0.6um @ T=77K，1.8um *1.8um * 0.4um @ T=4.5K
1.4.扫描头采用样品面朝下设计，有利于光学和原位蒸镀实验
1.5. 扫描头样品台兼容标准flag style样品托
1.6.针尖和样品可独立更换，且有针尖更换特殊保护装置
1.7.扫描头含内置电阻加热装备，提供含反馈功能的电源，实现样品区域温度<5K-200K连续变化（针尖与样品温度一致）的功能
1.8. 扫描头的稳定性：关闭反馈，峰峰值(z方向上)小于2pm
1.9. 扫描头的性能指标：STM 模式：室温以及77K,4.5K，Au(111)或 Si(111) 7x7 表面原子像
2 低温系统
2.1 液氦温度(5K)至少维持200小时
2.2双层热辐射隔离屏，隔离热辐射
2.3样品台上带有完整的配套控温系统
3 超高真空系统
3.1超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成
3.2STM腔配置满足以下要求：
3.2.1配置离子泵（不小于300 l/s）,钛升华泵，离子规和皮拉尼规；
3.2.2可存放不少于12个样品或针尖；
3.2.3包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气；
3.3H-cleaning 腔满足以下要求：
3.3.1 配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵、涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和单独配置的前级无油机械泵；
3.3.2 配置加热器可辐射或者直流通电流加热样品，辐射加热可达1100度；
3.3.3 配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统；
3.3.4 样片加热台可旋转，且配有可直接红外测温的窗口；
3.4. 快速进样腔满足以下要求；
3.4.1. 配置涡轮分子泵（抽速不小于67l/s）；
3.4.2配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）；
3.5. 样品加热腔满足以下要求：
3.5.1 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规；
3.5.2 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃；
3.6.沉积腔满足以下要求：
3.6.1. 沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体；
3.6.2. 沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口；
3.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵；
3.6.4. 沉积腔配置四维操纵台；
3.6.4.1.X/Y移动范围150~350 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动
3.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃
3.6.4.3.可直接通电流加热样品；
3.6.5.配有液氮冷盘；
3.7包含程序控制的全套烘烤系统
预计采购时间:2023-3
联系人:田老师
联系电话:0755-*
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
深圳国际量子研究院超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目意向公开
采购单位:深圳国 (略)
项目名称:超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目
预算金额（元）:7,400,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:因科研需求申请采购1套超高真空变温扫描隧道显微镜，技术参数要求如下：
1 扫描头
1.1 扫描头采用三维独立的粗定位系统，其中水平粗定位为样品移动，垂直粗定位为针尖移动
1.2 扫描头粗调移动范围：水平不小于4mm*4mm；垂直不小于 10mm
1.3 扫描头扫描范围XYZ不小于：11um * 11um * 2um @ T=300K，4um *4um * 0.6um @ T=77K，1.8um *1.8um * 0.4um @ T=4.5K
1.4.扫描头采用样品面朝下设计，有利于光学和原位蒸镀实验
1.5. 扫描头样品台兼容标准flag style样品托
1.6.针尖和样品可独立更换，且有针尖更换特殊保护装置
1.7.扫描头含内置电阻加热装备，提供含反馈功能的电源，实现样品区域温度<5K-200K连续变化（针尖与样品温度一致）的功能
1.8. 扫描头的稳定性：关闭反馈，峰峰值(z方向上)小于2pm
1.9. 扫描头的性能指标：STM 模式：室温以及77K,4.5K，Au(111)或 Si(111) 7x7 表面原子像
2 低温系统
2.1 液氦温度(5K)至少维持200小时
2.2双层热辐射隔离屏，隔离热辐射
2.3样品台上带有完整的配套控温系统
3 超高真空系统
3.1超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成
3.2STM腔配置满足以下要求：
3.2.1配置离子泵（不小于300 l/s）,钛升华泵，离子规和皮拉尼规；
3.2.2可存放不少于12个样品或针尖；
3.2.3包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气；
3.3H-cleaning 腔满足以下要求：
3.3.1 配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵、涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和单独配置的前级无油机械泵；
3.3.2 配置加热器可辐射或者直流通电流加热样品，辐射加热可达1100度；
3.3.3 配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统；
3.3.4 样片加热台可旋转，且配有可直接红外测温的窗口；
3.4. 快速进样腔满足以下要求；
3.4.1. 配置涡轮分子泵（抽速不小于67l/s）；
3.4.2配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）；
3.5. 样品加热腔满足以下要求：
3.5.1 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规；
3.5.2 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃；
3.6.沉积腔满足以下要求：
3.6.1. 沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体；
3.6.2. 沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口；
3.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵；
3.6.4. 沉积腔配置四维操纵台；
3.6.4.1.X/Y移动范围150~350 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动
3.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃
3.6.4.3.可直接通电流加热样品；
3.6.5.配有液氮冷盘；
3.7包含程序控制的全套烘烤系统
预计采购时间:2023-3
联系人:田老师
联系电话:0755-*
备注:无
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采购单位:深圳国 (略)
项目名称:超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目
预算金额（元）:7,400,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:因科研需求申请采购1套超高真空变温扫描隧道显微镜，技术参数要求如下：
1 扫描头
1.1 扫描头采用三维独立的粗定位系统，其中水平粗定位为样品移动，垂直粗定位为针尖移动
1.2 扫描头粗调移动范围：水平不小于4mm*4mm；垂直不小于 10mm
1.3 扫描头扫描范围XYZ不小于：11um * 11um * 2um @ T=300K，4um *4um * 0.6um @ T=77K，1.8um *1.8um * 0.4um @ T=4.5K
1.4.扫描头采用样品面朝下设计，有利于光学和原位蒸镀实验
1.5. 扫描头样品台兼容标准flag 样品托
1.6.针尖和样品可独立更换，且有针尖更换特殊保护装置
1.7.扫描头含内置电阻加热装备，提供含反馈功能的电源，实现样品区域温度<5K-200K连续变化（针尖与样品温度一致）的功能
1.8. 扫描头的稳定性：关闭反馈，峰峰值(z方向上)小于2pm
1.9. 扫描头的性能指标：STM 模式：室温以及77K,4.5K，Au(111)或 Si(111) 7x7 表面原子像
2 低温系统
2.1 液氦温度(5K)至少维持200小时
2.2双层热辐射隔离屏，隔离热辐射
2.3样品台上带有完整的配套控温系统
3 超高真空系统
3.1超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成
3.2STM腔配置满足以下要求：
3.2.1配置离子泵（不小于300 l/s）,钛升华泵，离子规和皮拉尼规；
3.2.2可存放不少于12个样品或针尖；
3.2.3包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气；
3.3H-cleaning 腔满足以下要求：
3.3.1 配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵、涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和单独配置的前级无油机械泵；
3.3.2 配置加热器可辐射或者直流通电流加热样品，辐射加热可达1100度；
3.3.3 配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统；
3.3.4 样片加热台可旋转，且配有可直接红外测温的窗口；
3.4. 快速进样腔满足以下要求；
3.4.1. 配置涡轮分子泵（抽速不小于67l/s）；
3.4.2配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）；
3.5. 样品加热腔满足以下要求：
3.5.1 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规；
3.5.2 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃；
3.6.沉积腔满足以下要求：
3.6.1. 沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体；
3.6.2. 沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口；
3.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵；
3.6.4. 沉积腔配置四维操纵台；
3.6.4.1.X/Y移动范围150~350 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动
3.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃
3.6.4.3.可直接通电流加热样品；
3.6.5.配有液氮冷盘；
3.7包含程序控制的全套烘烤系统
预计采购时间:2023-3
联系人:田老师
联系电话:0755-*
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
深圳国际量子研究院超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目意向公开
采购单位:深圳国 (略)
项目名称:超高真空变温扫描隧道显微镜设备项目
预算金额（元）:7,400,000.000
采购品目:其他机械设备
采购需求概况:因科研需求申请采购1套超高真空变温扫描隧道显微镜，技术参数要求如下：
1 扫描头
1.1 扫描头采用三维独立的粗定位系统，其中水平粗定位为样品移动，垂直粗定位为针尖移动
1.2 扫描头粗调移动范围：水平不小于4mm*4mm；垂直不小于 10mm
1.3 扫描头扫描范围XYZ不小于：11um * 11um * 2um @ T=300K，4um *4um * 0.6um @ T=77K，1.8um *1.8um * 0.4um @ T=4.5K
1.4.扫描头采用样品面朝下设计，有利于光学和原位蒸镀实验
1.5. 扫描头样品台兼容标准flag 样品托
1.6.针尖和样品可独立更换，且有针尖更换特殊保护装置
1.7.扫描头含内置电阻加热装备，提供含反馈功能的电源，实现样品区域温度<5K-200K连续变化（针尖与样品温度一致）的功能
1.8. 扫描头的稳定性：关闭反馈，峰峰值(z方向上)小于2pm
1.9. 扫描头的性能指标：STM 模式：室温以及77K,4.5K，Au(111)或 Si(111) 7x7 表面原子像
2 低温系统
2.1 液氦温度(5K)至少维持200小时
2.2双层热辐射隔离屏，隔离热辐射
2.3样品台上带有完整的配套控温系统
3 超高真空系统
3.1超高真空系统由STM腔、H-cleaning腔、沉积腔、样品加热腔、快速进样腔组成
3.2STM腔配置满足以下要求：
3.2.1配置离子泵（不小于300 l/s）,钛升华泵，离子规和皮拉尼规；
3.2.2可存放不少于12个样品或针尖；
3.2.3包含必要的法兰口，可用于光学通路、蒸发源或进气；
3.3H-cleaning 腔满足以下要求：
3.3.1 配置离子泵（抽速不小于300 l/s）,钛升华泵、涡轮分子泵（抽速度不小于260 l/s）和单独配置的前级无油机械泵；
3.3.2 配置加热器可辐射或者直流通电流加热样品，辐射加热可达1100度；
3.3.3 配置氢原子束流源，包含全套电源和控温系统；
3.3.4 样片加热台可旋转，且配有可直接红外测温的窗口；
3.4. 快速进样腔满足以下要求；
3.4.1. 配置涡轮分子泵（抽速不小于67l/s）；
3.4.2配置宽量程规（1e-8 mbar至atm）；
3.5. 样品加热腔满足以下要求：
3.5.1 配置离子泵（抽速不小于75 l/s）和离子规；
3.5.2 配置加热器，可辐射或直接通电流加热样品，辐射加热可达1100℃；
3.6.沉积腔满足以下要求：
3.6.1. 沉积腔为内径不小于250 mm的圆柱形腔体；
3.6.2. 沉积腔包含不小于4个蒸发源法兰口，和其他必要的法兰接口；
3.6.3. 沉积腔配置离子泵（抽速不小于300 l/s）、钛升华泵、涡轮分子泵（抽速不小于260 l/s）及前级无油机械泵；
3.6.4. 沉积腔配置四维操纵台；
3.6.4.1.X/Y移动范围150~350 mm，z方向移动距离满足实验需求，可±180°转动
3.6.4.2. 包含辐射高温加热模块，可辐射加热样品至1400℃
3.6.4.3.可直接通电流加热样品；
3.6.5.配有液氮冷盘；
3.7包含程序控制的全套烘烤系统
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