日期：2023年3月10日

招标编号：0722-234FE3406CQF

项目名称：晶圆缺陷检查系统

中国 (略) 受中电科芯片技术（集团）有限公司委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023年3月10日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式。

1.招标条件

1.1 项目概况：晶圆缺陷检查系统1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2.招标内容

2.1交货地点： (略) 沙坪坝区西永大道23号中电科芯片技术（集团）有限公司项目现场

2.2用途说明：用于在已完成声表面波滤波器芯片制作的钽酸锂(LiNbO3)晶圆、铌酸锂(LiTaO3)晶圆表面金属图形2D缺陷检测和凸点（bump球）3D缺陷检测。2D图形缺陷包括划伤、坑点、金属指条断连指、图形缺失、多余物等，具备芯片图形缺陷分类统计功能并形成MAP图；3D检测主要测量晶圆上凸点的高度及直径，可检测凸点丢失、过高、过低、位置偏移等缺陷；检测系统能保证4寸、6寸晶圆自动上下片，传输过程中碎片率<1/10000。

系统主要由传送模块、光学系统、平台系统、检测控制软件、数据客制化输入输出等组成，适用于高洁净度环境。

2.3 交货时间：合同生效后120天。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2023年3月10日。

4.2 招标文件领购结束时间：2023年3月17日。

4.3 招标文件领购地点： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1。

4.4 招标文件售价：500人民币/套。

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2023年3月30日9：00 分,投标文件递交时间：2023年3月30日8：30分－2023年3月30日9 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) 沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

5.3 开标地点： (略) 沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（http://**）”上公布。

7.联系方式

招标人：中电科芯片技术（集团）有限公司

地址： (略) 高新区西永大道23号

联系人：吴勇

电话：023-*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静

电话：023-*、*

传真：023-*

电子邮箱：*@*q.com

8.其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：*1014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*

日期：2023年3月10日

招标编号：0722-234FE3406CQF

项目名称：晶圆缺陷检查系统

中国 (略) 受中电科芯片技术（集团）有限公司委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023年3月10日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式。

1.招标条件

1.1 项目概况：晶圆缺陷检查系统1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2.招标内容

2.1交货地点： (略) 沙坪坝区西永大道23号中电科芯片技术（集团）有限公司项目现场

2.2用途说明：用于在已完成声表面波滤波器芯片制作的钽酸锂(LiNbO3)晶圆、铌酸锂(LiTaO3)晶圆表面金属图形2D缺陷检测和凸点（bump球）3D缺陷检测。2D图形缺陷包括划伤、坑点、金属指条断连指、图形缺失、多余物等，具备芯片图形缺陷分类统计功能并形成MAP图；3D检测主要测量晶圆上凸点的高度及直径，可检测凸点丢失、过高、过低、位置偏移等缺陷；检测系统能保证4寸、6寸晶圆自动上下片，传输过程中碎片率<1/10000。

系统主要由传送模块、光学系统、平台系统、检测控制软件、数据客制化输入输出等组成，适用于高洁净度环境。

2.3 交货时间：合同生效后120天。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2023年3月10日。

4.2 招标文件领购结束时间：2023年3月17日。

4.3 招标文件领购地点： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1。

4.4 招标文件售价：500人民币/套。

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2023年3月30日9：00 分,投标文件递交时间：2023年3月30日8：30分－2023年3月30日9 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) 沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

5.3 开标地点： (略) 沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（http://**）”上公布。

7.联系方式

招标人：中电科芯片技术（集团）有限公司

地址： (略) 高新区西永大道23号

联系人：吴勇

电话：023-*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静

电话：023-*、*

传真：023-*

电子邮箱：*@*q.com

8.其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：*1014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*