SiO2用纸质滤芯 * 个 10 空气开关 300A 个 1 气动阀（P5000/PVD/LAM设备通用件，接口为1/4内螺纹VCR） SS-BNV51-C 个 1 承片台传感器板 SVG 个 1 阀板 * 个 1 oxide压环（6寸） 0020-31708 个 2 信号线 0150-70017 件 3 IN-CINE GAS FILTER 4020-01060 件 2 ORING 3700-01205 个 5 螺丝 713-*-001 个 10 bolt ring 720-*-010 件 20 同步带 3080-01048 个 2 cap sensor 0010-00084 个 1 接头 0720-01805 件 5 陶瓷手臂 RTP600 个 1 吸附片 E* 个 10 润滑油 PL-035 件 1 8WAF BLOCK6(2P-45-F) 1910-*-12 个 6 PAD, PICK?Handle上小垫片 E* 个 10 分立器件测试板 DDC1020 个 1

SiO2用纸质滤芯 * 个 10 空气开关 300A 个 1 气动阀（P5000/PVD/LAM设备通用件，接口为1/4内螺纹VCR） SS-BNV51-C 个 1 承片台传感器板 SVG 个 1 阀板 * 个 1 oxide压环（6寸） 0020-31708 个 2 信号线 0150-70017 件 3 IN-CINE GAS FILTER 4020-01060 件 2 ORING 3700-01205 个 5 螺丝 713-*-001 个 10 bolt ring 720-*-010 件 20 同步带 3080-01048 个 2 cap sensor 0010-00084 个 1 接头 0720-01805 件 5 陶瓷手臂 RTP600 个 1 吸附片 E* 个 10 润滑油 PL-035 件 1 8WAF BLOCK6(2P-45-F) 1910-*-12 个 6 PAD, PICK?Handle上小垫片 E* 个 10 分立器件测试板 DDC1020 个 1