中国科学技术大学2023年4至6月政府意向-直写紫外曝光机-A02100399其他光学仪器招标预告
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中国科学技术大学2023年4至6月政府意向-直写紫外曝光机-A02100399其他光学仪器招标预告
| 直写紫外曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 直写紫外曝光机 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "非接触式曝光技术，曝光100x100mm2的区域<11分钟 基板到8英寸 x 8英寸 分辨率:<1um 曝光100x100mm2的区域<11分钟 非接触式曝光 光源为405 nm和375 nm 背面对齐 实时自动对焦" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 直写紫外曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 直写紫外曝光机 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "非接触式曝光技术，曝光100x100mm2的区域<11分钟 基板到8英寸 x 8英寸 分辨率:<1um 曝光100x100mm2的区域<11分钟 非接触式曝光 光源为405 nm和375 nm 背面对齐 实时自动对焦" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
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