中国科学技术大学2023年4至6月政府意向-电子束光刻机-A02100399其他光学仪器-招标预告
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中国科学技术大学2023年4至6月政府意向-电子束光刻机-A02100399其他光学仪器-招标预告
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "套刻精度： 在高精度模式下小于?20nm 拼接精度： 在高精度模式下小于?20nm 束流： 30pA至20nA 束斑： 在高精度模式下小于3nm 扫描时钟频率： 50MHZ 扫描区域： 150mm?150mm 扫描最小步长： 高精度模式下0.125nm 高速模式下1nm 写场尺寸： 高精度模式下62.5μm?62.5μm 高速模式下500μm?500μm " |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "套刻精度： 在高精度模式下小于?20nm 拼接精度： 在高精度模式下小于?20nm 束流： 30pA至20nA 束斑： 在高精度模式下小于3nm 扫描时钟频率： 50MHZ 扫描区域： 150mm?150mm 扫描最小步长： 高精度模式下0.125nm 高速模式下1nm 写场尺寸： 高精度模式下62.5μm?62.5μm 高速模式下500μm?500μm " |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
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