中国科学技术大学2023年10至12月政府意向-电子束蒸发系统-A02109900其他仪器仪表-预算金额400.000000万元(人民币)招标预告
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中国科学技术大学2023年10至12月政府意向-电子束蒸发系统-A02109900其他仪器仪表-预算金额400.000000万元(人民币)招标预告
| 电子束蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 用于半导体器件的金属、介质等材料的大面积沉积，6英寸，蒸发源8个，可实现双源共蒸发，厚度精度0.01埃，腔体真空度10-5Pa等 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 用于半导体器件的金属、介质等材料的大面积沉积，6英寸，蒸发源8个，可实现双源共蒸发，厚度精度0.01埃，腔体真空度10-5Pa等 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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