中国科学院高能物理研究所2023年3至12月政府采购意向-电感耦合等离子体化学气相沉积系统-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额320.000000万元(人民币)
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中国科学院高能物理研究所2023年3至12月政府采购意向-电感耦合等离子体化学气相沉积系统-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额320.000000万元(人民币)
| 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 高能物理研究所2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 高能物理研究所 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 320.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A*-设备_A*-仪器仪表_A*-其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 采购的ICP-CVD用于开展阿里原初引力波望远镜核心技术研发，在低温环境下生长低应力的SiNx以及SiOx作为微波信号传输的介质层，减小微波损耗。要求实现1）兼容6寸硅片工艺；2）基片可加热至400℃； 3）片上不均匀性：±3%；片间重复性：±3%；4）应力：<*@*00nm |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 高能物理研究所2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 高能物理研究所 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 320.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A*-设备_A*-仪器仪表_A*-其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 采购的ICP-CVD用于开展阿里原初引力波望远镜核心技术研发，在低温环境下生长低应力的SiNx以及SiOx作为微波信号传输的介质层，减小微波损耗。要求实现1）兼容6寸硅片工艺；2）基片可加热至400℃； 3）片上不均匀性：±3%；片间重复性：±3%；4）应力：<*@*00nm |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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