中国科学院上海光学精密机械研究所2023年3至12月政府采购意向-DUV高效超表面材料投影刻蚀平台-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额356.000000万元(人民币)
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中国科学院上海光学精密机械研究所2023年3至12月政府采购意向-DUV高效超表面材料投影刻蚀平台-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额356.000000万元(人民币)
| DUV高效超表面材料投影刻蚀平台 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海光学精密机械研究所2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | DUV高效超表面材料投影刻蚀平台 |
| 预算金额： | 356.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 高效超表面材料投影刻蚀平台采用微透镜阵列，对激光光斑进行打散后重组，将激光光斑分成很多小光斑进行分解和聚焦，让每一个小光斑又重新准直投影到匀化后的大光斑上实现2次重组，具备高精度和高匀化性。高精度的2维平移，可以对投影光斑进行拼接加工，克服了单一激光光斑加工范围小的弱点，能够对500mm以内的大尺寸样品进行有效拼接，实现0.6微米的拼接精度。同时，还可以通过高精度位移台的三维联动，可以调整z轴光斑投影点的高低，实现复杂曲面的三维联动加工系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| DUV高效超表面材料投影刻蚀平台 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海光学精密机械研究所2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | DUV高效超表面材料投影刻蚀平台 |
| 预算金额： | 356.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 高效超表面材料投影刻蚀平台采用微透镜阵列，对激光光斑进行打散后重组，将激光光斑分成很多小光斑进行分解和聚焦，让每一个小光斑又重新准直投影到匀化后的大光斑上实现2次重组，具备高精度和高匀化性。高精度的2维平移，可以对投影光斑进行拼接加工，克服了单一激光光斑加工范围小的弱点，能够对500mm以内的大尺寸样品进行有效拼接，实现0.6微米的拼接精度。同时，还可以通过高精度位移台的三维联动，可以调整z轴光斑投影点的高低，实现复杂曲面的三维联动加工系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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