清华大学深圳国际研究生院液体、固体、气体源脉冲系统（6路）意向公开
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清华大学深圳国际研究生院液体、固体、气体源脉冲系统（6路）意向公开
| 采购单位: | 清华大学深圳 (略) |
| 项目名称: | 液体、固体、气体源脉冲系统（6路） |
| 预算金额（元）: | 799,800.000 |
| 采购品目: | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况: | 设备配置6条完全独立的前驱体源管路；前驱体源系统包括：液态源系统、加热源系统、气体源系统。对应的脉冲阀与三通阀通过电脑控制的非惰性气体气动的阀门；每条管路配独立质量流量计（MFC）、压强传感器、高质量的脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器；加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃；管路和阀门系统须具有在线净化功能；气体源系统，包含质量流量计、管路、计算机控制的三通气压阀门；质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，流速可预设；压强传感器的测量范围满足0-1050mbar. |
| 联系人: | 吕老师 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2023-03 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 清华大学深圳 (略) |
| 项目名称: | 液体、固体、气体源脉冲系统（6路） |
| 预算金额（元）: | 799,800.000 |
| 采购品目: | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况: | 设备配置6条完全独立的前驱体源管路；前驱体源系统包括：液态源系统、加热源系统、气体源系统。对应的脉冲阀与三通阀通过电脑控制的非惰性气体气动的阀门；每条管路配独立质量流量计（MFC）、压强传感器、高质量的脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器；加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃；管路和阀门系统须具有在线净化功能；气体源系统，包含质量流量计、管路、计算机控制的三通气压阀门；质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，流速可预设；压强传感器的测量范围满足0-1050mbar. |
| 联系人: | 吕老师 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2023-03 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 清华大学深圳 (略) |
| 项目名称: | 液体、固体、气体源脉冲系统（6路） |
| 预算金额（元）: | 799,800.000 |
| 采购品目: | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况: | 设备配置6条完全独立的前驱体源管路；前驱体源系统包括：液态源系统、加热源系统、气体源系统。对应的脉冲阀与三通阀通过电脑控制的非惰性气体气动的阀门；每条管路配独立质量流量计（MFC）、压强传感器、高质量的脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器；加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃；管路和阀门系统须具有在线净化功能；气体源系统，包含质量流量计、管路、计算机控制的三通气压阀门；质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，流速可预设；压强传感器的测量范围满足0-1050mbar. |
| 联系人: | 吕老师 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2023-03 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 清华大学深圳 (略) |
| 项目名称: | 液体、固体、气体源脉冲系统（6路） |
| 预算金额（元）: | 799,800.000 |
| 采购品目: | 样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况: | 设备配置6条完全独立的前驱体源管路；前驱体源系统包括：液态源系统、加热源系统、气体源系统。对应的脉冲阀与三通阀通过电脑控制的非惰性气体气动的阀门；每条管路配独立质量流量计（MFC）、压强传感器、高质量的脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器；加热源料瓶容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃；管路和阀门系统须具有在线净化功能；气体源系统，包含质量流量计、管路、计算机控制的三通气压阀门；质量流量计（MFC）的测量范围满足0-2000 sccm，流速可预设；压强传感器的测量范围满足0-1050mbar. |
| 联系人: | 吕老师 |
| 联系电话: | * |
| 预计采购时间: | 2023-03 |
| 备注: | 无 |
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