small lip seal viton 0020-09373 件 150 手臂石英吸盘 RTP2800 件 1 光笔 0190-13175（或0190-30355） 个 10 压力传感器 1350-01011(626A11TEE) 个 1 I10 STAGE MOTOR UGRMEM-O2SNQ33 个 1 cassette 6寸整套 0010-05872 套 1 oxide压环螺钉（6寸） 3690-02736 个 24 oxide基座（6寸） 0010-09973 个 2 Screw,Sockethead,8-32 3/8~,Vented SST 3690-01458 个 24 oxide压环螺钉保护罩（6寸） 0020-31659 个 24 oxide压环（6寸） 0020-31708 个 2 oxide压环螺钉垫片（6寸） 3880-01004 个 24 oxide压环螺钉垫片（6寸） 3880-01452 包 24 oxide硅环（6寸） 0200-09626 个 2 oxide塑料环（6寸） 0020-30701 个 2 small lip seal, viton 0030-09036 个 8 large face（6寸） 0030-09050 个 2 poly基座螺钉（6寸） 3690-01383 个 12 poly压环螺钉（6寸） 3690-01628 个 8 poly基座上的石英环（6寸） 0200-09216 个 1 poly塑料环（6寸） 0020-03413 个 1 poly基座（6寸） 0020-30314 个 1 poly 堵头 0200-09366 PLVG 个 3 螺钉 0020-03656 件 4 poly石英罩（6寸） 0200-09744 个 1 poly压环（6寸） 0020-30678 个 1 poly lift 套筒 0020-30679 个 1 small lip seal, viton 0030-09036 个 4 large face（6寸） 0030-09050 个 1 ELEVATOR 0010-09052 个 1 手臂（6寸） 0010-76004 个 1

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