磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统招标预告

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磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统招标预告


磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统
项目所在采购意向:zycgr*年4月政府采购意向
采购单位:zycgr*
采购项目名称:磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统
预算金额:850.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他仪器仪表
采购需求概况 :
采购标的为1台。核心质量要求为:1)磁控溅射工艺腔体真空可以到1E-10torr;2)进样室腔体可以到达1E-6torr;3)磁控溅射与电子束蒸发之间,通过高真空过渡腔体完成样品传送。质保期大于1年。
预计采购时间:2023-04
备注:


磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统
项目所在采购意向:zycgr*年4月政府采购意向
采购单位:zycgr*
采购项目名称:磁控溅射/电子束蒸发镀膜联合系统
预算金额:850.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他仪器仪表
采购需求概况 :
采购标的为1台。核心质量要求为:1)磁控溅射工艺腔体真空可以到1E-10torr;2)进样室腔体可以到达1E-6torr;3)磁控溅射与电子束蒸发之间,通过高真空过渡腔体完成样品传送。质保期大于1年。
预计采购时间:2023-04
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