电子束曝光机招标预告
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电子束曝光机招标预告
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的1台。核心质量为：1）电子束成像分辨率≤0.*@*5kV，≤1.*@*kV；2）光路中配置静电电子束束闸和基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz；3）配置五轴马达驱动样品台，最大移动行程X轴≥125mm，Y轴≥125mm，Z轴≥50mm；质保一年以上。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的1台。核心质量为：1）电子束成像分辨率≤0.*@*5kV，≤1.*@*kV；2）光路中配置静电电子束束闸和基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz；3）配置五轴马达驱动样品台，最大移动行程X轴≥125mm，Y轴≥125mm，Z轴≥50mm；质保一年以上。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
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