中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向-Sputter（二手）设备安装调试-C0599-其他维修和保养服务-预算金额300.000000万元(人民币)
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向-Sputter（二手）设备安装调试-C0599-其他维修和保养服务-预算金额300.000000万元(人民币)
| Sputter（二手）设备安装调试 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | Sputter（二手）设备安装调试 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C0599-其他维修和保养服务 |
| 采购需求概况： | Sputter（二手）设备耗材及安装调试。实现四腔Sputter的材料生长溅射能力。调试后真空可以达到如下指标：真空可以达到10-7Pa；微波等离子清洗；共溅射功能，变组分材料制备；超低的放电电压，低损伤成膜。长射程型实现良好的膜厚分布；溅射粒子能量控制，低速率控制，超薄膜形成；低温溅射。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| Sputter（二手）设备安装调试 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | Sputter（二手）设备安装调试 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C0599-其他维修和保养服务 |
| 采购需求概况： | Sputter（二手）设备耗材及安装调试。实现四腔Sputter的材料生长溅射能力。调试后真空可以达到如下指标：真空可以达到10-7Pa；微波等离子清洗；共溅射功能，变组分材料制备；超低的放电电压，低损伤成膜。长射程型实现良好的膜厚分布；溅射粒子能量控制，低速率控制，超薄膜形成；低温溅射。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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