有研（广东）新材料技术研究院2023年03月至2023年04月政府采购意向-超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购
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有研（广东）新材料技术研究院2023年03月至2023年04月政府采购意向-超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年03月至2023年04月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：晶圆键合机 标的数量：1 主要功能或目标：实现多层硅、硅-玻璃键合，主要用于双层、多层硅键合工艺的微流道器件制备 需满足的要求：最高温度≥500±1℃ ；上下压板温度独立控制；最高键合压力≥20000N。可用于阳极键合、共晶键合等 | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 3,360,000.00 | 2023年04月 | |
| 2 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：低压化学气相沉积炉及热氧化炉 标的数量：1 主要功能或目标：实现SiNx、SiO2等材料的生长，用于微热板应力匹配层及截止层制备加工 需满足的要求：工作温度范围≤1300℃，恒温区长度300mm，*@*作温度范围±0.5℃/（600-1200）℃， | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 1,950,000.00 | 2023年04月 | |
| 3 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：磁控溅射设备 标的数量：1 主要功能或目标：用于高效金属电极制备及高效大批量功能层薄膜制备 需满足的要求：靶枪≥3个，配备直流、射频电源，φ6英寸面内膜厚均匀性±5％以内，可基板加热，有load-lock，可连续传片 | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 1,850,000.00 | 2023年04月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
有研（广东）新材 (略)
2023年03月28日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年03月至2023年04月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：晶圆键合机 标的数量：1 主要功能或目标：实现多层硅、硅-玻璃键合，主要用于双层、多层硅键合工艺的微流道器件制备 需满足的要求：最高温度≥500±1℃ ；上下压板温度独立控制；最高键合压力≥20000N。可用于阳极键合、共晶键合等 | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 3,360,000.00 | 2023年04月 | |
| 2 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：低压化学气相沉积炉及热氧化炉 标的数量：1 主要功能或目标：实现SiNx、SiO2等材料的生长，用于微热板应力匹配层及截止层制备加工 需满足的要求：工作温度范围≤1300℃，恒温区长度300mm，*@*作温度范围±0.5℃/（600-1200）℃， | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 1,950,000.00 | 2023年04月 | |
| 3 | 超灵敏多通道生物传感器关键技术及系统研制2023年（第一批）设备采购 | 标的名称：磁控溅射设备 标的数量：1 主要功能或目标：用于高效金属电极制备及高效大批量功能层薄膜制备 需满足的要求：靶枪≥3个，配备直流、射频电源，φ6英寸面内膜厚均匀性±5％以内，可基板加热，有load-lock，可连续传片 | 本项目实行国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位等政策 | 1,850,000.00 | 2023年04月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
有研（广东）新材 (略)
2023年03月28日
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