深圳国际量子研究院高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目意向公开
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深圳国际量子研究院高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目意向公开
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购一套高真空电子束蒸发镀膜仪、一套高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备。高真空电子束蒸发镀膜仪将用于超导、硅基、光量子等团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积金属薄膜，制备出难熔贵金属的金属线条。该设备将对超导、硅基、光量子等芯片的研发并起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸超高真空电子束蒸发设备，因此对高熔点贵金属Au、Pd、Pt等的大面积沉积存在很大的需求。高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备将用于超导量子团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积氧化硅薄膜，制备空气桥工艺中HF可刻蚀的氧化硅薄膜。该设备将对超导量子芯片的研发起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备，因此对氧化硅等介质材料的大面积沉积存在极大需求。 |
| 预计采购时间: | 2023-4 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购一套高真空电子束蒸发镀膜仪、一套高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备。高真空电子束蒸发镀膜仪将用于超导、硅基、光量子等团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积金属薄膜，制备出难熔贵金属的金属线条。该设备将对超导、硅基、光量子等芯片的研发并起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸超高真空电子束蒸发设备，因此对高熔点贵金属Au、Pd、Pt等的大面积沉积存在很大的需求。高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备将用于超导量子团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积氧化硅薄膜，制备空气桥工艺中HF可刻蚀的氧化硅薄膜。该设备将对超导量子芯片的研发起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备，因此对氧化硅等介质材料的大面积沉积存在极大需求。 |
| 预计采购时间: | 2023-4 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购一套高真空电子束蒸发镀膜仪、一套高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备。高真空电子束蒸发镀膜仪将用于超导、硅基、光量子等团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积金属薄膜，制备出难熔贵金属的金属线条。该设备将对超导、硅基、光量子等芯片的研发并起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸超高真空电子束蒸发设备，因此对高熔点贵金属Au、Pd、Pt等的大面积沉积存在很大的需求。高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备将用于超导量子团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积氧化硅薄膜，制备空气桥工艺中HF可刻蚀的氧化硅薄膜。该设备将对超导量子芯片的研发起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备，因此对氧化硅等介质材料的大面积沉积存在极大需求。 |
| 预计采购时间: | 2023-4 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购一套高真空电子束蒸发镀膜仪、一套高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备。高真空电子束蒸发镀膜仪将用于超导、硅基、光量子等团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积金属薄膜，制备出难熔贵金属的金属线条。该设备将对超导、硅基、光量子等芯片的研发并起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸超高真空电子束蒸发设备，因此对高熔点贵金属Au、Pd、Pt等的大面积沉积存在很大的需求。高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备将用于超导量子团队的工艺开发和器件制备，通过高真空的仪器设备沉积氧化硅薄膜，制备空气桥工艺中HF可刻蚀的氧化硅薄膜。该设备将对超导量子芯片的研发起到关键作用。目前， (略) 没有8英寸高真空电子束蒸发镀氧化硅专用设备，因此对氧化硅等介质材料的大面积沉积存在极大需求。 |
| 预计采购时间: | 2023-4 |
| 联系人: | 谢老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 备注: | 无 |
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