福州大学2023年03月至2023年04月政府采购意向
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福州大学2023年03月至2023年04月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将福州大学2023年度采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 福州大学金属有机化学气相沉积设备采购项目 | 采购内容：金属有机化学气相沉积设备 采购数量：1套 主要功能或目标：1.生长高质量氧化镓外延薄膜；a.氧化镓外延层表面反应动力学和外延层可控生长机制研究，揭示外延层缺陷形成机理；b.分析影响氧化镓外延层载流子寿命的因素及控制机制；c.建立不同类型元素掺杂的外延技术，实现高质量氧化镓厚膜外延关键技术研发。2.高功率氧化镓肖特基二极管（SBD）器件制备。 需满足的要求：1.生长晶片尺寸： 2英寸单片2.生长温度控制范围：400℃-1300℃，反应室采用冷却水冷却，带热电偶实时检测并显示反应室温度。3.GaN生长速度：≥2um/小时4.系统压力、真空度：压力范围：20-800 Torr;真空度：不低于：2.0×10￣2 torr。带两个真空泵，带真空硅（测试腔体真空度）及显示仪表。5.基本配置：4路气体：（H2,N2,NH3,SiH4）4路MO源：（TMG | 80.* | 2023年04月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
福州大学
2023年03月30日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将福州大学2023年度采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 福州大学金属有机化学气相沉积设备采购项目 | 采购内容：金属有机化学气相沉积设备 采购数量：1套 主要功能或目标：1.生长高质量氧化镓外延薄膜；a.氧化镓外延层表面反应动力学和外延层可控生长机制研究，揭示外延层缺陷形成机理；b.分析影响氧化镓外延层载流子寿命的因素及控制机制；c.建立不同类型元素掺杂的外延技术，实现高质量氧化镓厚膜外延关键技术研发。2.高功率氧化镓肖特基二极管（SBD）器件制备。 需满足的要求：1.生长晶片尺寸： 2英寸单片2.生长温度控制范围：400℃-1300℃，反应室采用冷却水冷却，带热电偶实时检测并显示反应室温度。3.GaN生长速度：≥2um/小时4.系统压力、真空度：压力范围：20-800 Torr;真空度：不低于：2.0×10￣2 torr。带两个真空泵，带真空硅（测试腔体真空度）及显示仪表。5.基本配置：4路气体：（H2,N2,NH3,SiH4）4路MO源：（TMG | 80.* | 2023年04月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
福州大学
2023年03月30日
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