北京交通大学2023年5月政府采购意向-集成电路实验平台建设第一期-A032103电子工业专用生产设备-预算金额195.000000万元(人民币)
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北京交通大学2023年5月政府采购意向-集成电路实验平台建设第一期-A032103电子工业专用生产设备-预算金额195.000000万元(人民币)
| 集成电路实验平台建设第一期 | |
| 项目所在采购意向： | 北京交通大学2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京交通大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路实验平台建设第一期 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 1. 高真空等离子体化学气相薄膜沉积系统1台，用于制备氮化硅、氧化硅等薄膜，主要指标：（1）真空室尺寸：L600mm*H350mm*W600mm；（2）样品尺寸：直径 100 mm，硅片， 4 片；（3）极限真空度：≤5x10-4 Pa ；（4）具有自动控制系统和尾气处理装置。2. 等离子增强型原子层沉积系统1台，用于制备氧化铝、氧化铪等薄膜，主要指标：（1）标准 PE 反应腔室， 6 英寸样品；（2）4 路液态前驱体源， 1 路鼓泡前驱体源；（3）极限真空＜5×10-3Torr；（4）ICP 远程等离子体系统；（5）膜厚标准偏差≤± 1%。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | 联系人：邓老师，电话：* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 集成电路实验平台建设第一期 | |
| 项目所在采购意向： | 北京交通大学2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京交通大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路实验平台建设第一期 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 1. 高真空等离子体化学气相薄膜沉积系统1台，用于制备氮化硅、氧化硅等薄膜，主要指标：（1）真空室尺寸：L600mm*H350mm*W600mm；（2）样品尺寸：直径 100 mm，硅片， 4 片；（3）极限真空度：≤5x10-4 Pa ；（4）具有自动控制系统和尾气处理装置。2. 等离子增强型原子层沉积系统1台，用于制备氧化铝、氧化铪等薄膜，主要指标：（1）标准 PE 反应腔室， 6 英寸样品；（2）4 路液态前驱体源， 1 路鼓泡前驱体源；（3）极限真空＜5×10-3Torr；（4）ICP 远程等离子体系统；（5）膜厚标准偏差≤± 1%。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | 联系人：邓老师，电话：* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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