济南量子技术研究院2023年03月(至)04月政府采购意向-大数据C栋实验室工艺设备采购项目（二）

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济南量子技术研究院2023年03月(至)04月政府采购意向-大数据C栋实验室工艺设备采购项目（二）

济南量 (略) 2023年03（至）04月

政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将济南量 (略) 2023年03（至）04月采购意向公开如下：

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

大数据C栋实验室工艺设备采购项目（二）

A包：薄膜介质电感耦合等离子体化学气相沉积系统：预算480万参数要求：1.衬底尺寸：兼容6/8寸；2、采用ICP方式产生高密度等离子体，在衬底上沉积高质量得氧化硅、氮化硅等介质薄膜；B包：感应耦合等离子刻蚀设备2台，920万参数要求：衬底尺寸：兼容6/8寸；

1400

2023年04月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

济南量 (略)

2023年03月31日

济南量 (略) 2023年03（至）04月

政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将济南量 (略) 2023年03（至）04月采购意向公开如下：

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

大数据C栋实验室工艺设备采购项目（二）

A包：薄膜介质电感耦合等离子体化学气相沉积系统：预算480万参数要求：1.衬底尺寸：兼容6/8寸；2、采用ICP方式产生高密度等离子体，在衬底上沉积高质量得氧化硅、氮化硅等介质薄膜；B包：感应耦合等离子刻蚀设备2台，920万参数要求：衬底尺寸：兼容6/8寸；

1400

2023年04月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

济南量 (略)

2023年03月31日

    
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