西安电子科技大学2023年7月政府采购意向-紫外接触式光刻机-A02100503工艺试验机-预算金额220.000000万元(人民币)
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西安电子科技大学2023年7月政府采购意向-紫外接触式光刻机-A02100503工艺试验机-预算金额220.000000万元(人民币)
| 紫外接触式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 紫外接触式光刻机 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 1台·UV LED曝光光源支持 365nm/405nm/435nm，光强均匀度：优于±4％，其中， 在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值） |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 紫外接触式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 紫外接触式光刻机 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 1台·UV LED曝光光源支持 365nm/405nm/435nm，光强均匀度：优于±4％，其中， 在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值） |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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