西安电子科技大学2023年7月政府采购意向-涂胶显影一体机-A02330300电子工业生产设备-预算金额400.000000万元(人民币)
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西安电子科技大学2023年7月政府采购意向-涂胶显影一体机-A02330300电子工业生产设备-预算金额400.000000万元(人民币)
| 涂胶显影一体机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 涂胶显影一体机 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 1台·最大6"晶圆的匀胶显影，涂胶台转速范围：0~6000rpm；涂胶均匀性：光刻胶膜厚均匀性≤±2%@1um（6英寸，去边3mm）；热板温度最高250℃，温度精度：100℃±0.6℃；配置HMDS功能。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 涂胶显影一体机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 涂胶显影一体机 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 1台·最大6"晶圆的匀胶显影，涂胶台转速范围：0~6000rpm；涂胶均匀性：光刻胶膜厚均匀性≤±2%@1um（6英寸，去边3mm）；热板温度最高250℃，温度精度：100℃±0.6℃；配置HMDS功能。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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