序号

采购人

采购项目名称

采购需求概况

预算金额（万元）

预计采购时间

备注

1

兰州理工大学

兰州理工大学扫描电子显微镜项目

1工作条件1.1电力供应：220V（10%），50Hz，单相；1.2工作温度：15℃-25℃；1.3工作湿度：< 80% (20℃)； 1.4仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定； 1.5仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准。 2设备用途 场发射扫描电子显微镜具有低电压下的超高分辨观察及微区分析能力，可广泛用于金属、非金属、生物等各种材料在纳米尺度下的形态、形貌、物相、晶体结构观察及微区成分分析。比如金属材料位错、析出相等结构的表征及分析 3技术规格 3.1电子光学系统 3.1.1 分辨率（平均值统计法）： *3.1.1.1高真空成像分辨率：≤0.5nm @15kV（减速模式）；≤0.8nm @1kV（减速模式）；≤0.9nm @1KV（非减速模式）；（以厂家官网彩页为准） 3.1.1.2 10mm EDS能谱分析工作距离下分辨率：≤1.0nm @1kV 3.1.2 放大倍率范围：20 ～ 1，000，000倍 (根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准) 3.1.3电压：200V 至 30kV；配置减速模式 3.1.4电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪 *3.1.5电子束流：1 pA ～ 50 nA，连续可调，配备电流测量装置（以厂家官网彩页为准） 3.1.6 束流稳定性：每10小时 < 0.4% 3.1.7 自动式物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。自动光阑，无需人工参与 3.1.8 电子枪维护可以自动烘烤、自动启动。 3.1.9 系统对中、合轴：全自动 3.1.10 电子束位移范围：不小于±20um 3.2 样品室和样品台 3.2.1 样品室内径≥340mm 3.2.2 分析工作距离10mm 3.2.3不少于12个探测器/附件接口（所有端口程序均免费开放，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM探头、红外探头、纳米机械手等等） *3.2.4五轴马达驱动优中心样品台： X≥110mm ;Y ≥110mm；Z ≥60mm；T≥90°；R = 360°连续旋转；步进进度优于100nm，样品台最大承重量2.0 kg 3.2.5要求配备多功能样品台 (可放置截面观察，预倾斜以及STEM样品) *3.3 检测器： 3.3.1 样品室内二次电子检测器 3.3.2 样品室背散射电子检测器 3.3.3镜筒内二次电子检测器 3.3.4镜筒内背散射电子检测器 3.3.5配置电荷中和器 3.3.6光学导航探头检测器 3.3.7样品室IR-CCD相机 3.4 真空系统 3.4.1完全无油真空系统 3.4.2 样品室真空度：优于6×10-6 mBar； 3.4.3 抽真空时间：< 3.5分钟 3.4.4保护：自动真空抽气及诊断系统，具有断电、缺水、失真空保护系统 3.5 数字图像处理系统 *3.5.1最大扫描和成像≥64000x64000像素 3.5.2配置的探测器信号既能实现同一个显示屏上单个活动窗口全屏显示某一探测器的图像信号，又能在同一显示屏上多个活动窗口（最多不少于4个窗口）同时并列显示不同探测器的图像信号，图像信号可相互实时切换，互不干扰 3.5.3 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选 3.5.4 控制系统：提供完整的系统操作控制系统和智能扫描软件，具有：线积分或平均，隔行扫描，漂移补偿幅积分，伪彩色功能，实时存储图像，图像处理(反像， Gamma，平滑，锐化，增强等)，图像旋转等 3.6 控制和数据处理系统 3.6.1 电镜控制器，最低配置要求：国际主流品牌HP计算机工作站，Intel Xeon 四核3.0GHz以上CPU；DDRIII 16.0GB内存；2000GB硬盘；1G独立专业图像显卡；DVD刻录机；一台1920×1200分辨率的24” LCD显示器 3.6.2 Windows 10的64位图形操作系统 3.6.3 操作方式：键盘、鼠标、控制面板 3.7 标准应用软件 3.7.1 具有样品台图像导航功能 3.7.2 具有双击鼠标移动样品功能 3.7.3 具有鼠标拖曳式放大及对中功能 3.7.4具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作 3.7.5具备撤销/恢复某一个步骤的功能，鼓励使用者放心实验 3.7.6具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探头种类） 3.7.7具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等） 3.7.8具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等 3.7.9提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。 3.8 能谱仪（EDS）部分技术指标 3.8.1探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗设计。封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。 3.8.2能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130，000cps）； F Ka 保证优于64eV（@计数率130，000cps）； C Ka 保证优于56eV（@计数率130，000cps）； 保证符合ISO 15632:2012标准。 3.8.3元素分析范围：Be4～Cf98。 3.8.4探测器可软件控制自动伸缩。 3.8.5具备元素谱图及面分布实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、元素谱图、不同元素分布以及它们的叠加图。样品停止移动时，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。可利用软件控制样品台移动及改变放大倍数。 3.8.6电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。 3.9 EBSD技术指标 3.9.1高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，并能够与各主流型号的电镜良好配合； 3.9.2 EBSD在线解析最高标定速度不低于5700pps，此时花样分辨率仍能保持为156*128； 3.9.3专门设计的探头仰角自动调节马达，在探测器完全深入状态下，探测器Z轴可通过软件在+/-22.9 mm范围内任意调整（电镜主机的不同会有微调），而无需重新校准即可连续采集EBSD数据； 3.9.4配有独立的操作手柄，能够实时显示探头位置，可选择直达指定位置或者步进模式控制探头就位； 3.9.5采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护EBSD作用； 3.9.6 操作软件完全与能谱仪软件一体化，可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定，实现能谱EBSD同时联机分析且不降速； 3.9.7电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096； 3.9.8动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩、倾转后均无需重新扣除背景或重新优化； 3.10要求的配置内容（包括但不限于） 3.10.1 符合上述技术指标要求的电镜一整套，含相应的软件操作系统、冷却循环水设备、真空泵、空压机、基本电脑控制系统（需注明配置）等。 3.10.2 随机额外配置两支场发射电子枪（包含安装人工费用，存放工厂按需发货）。 3.10.3 符合上述技术指标要求的能谱仪和EBSD一整套（需注明具体配置），含相应的软件及硬件等。 3.10.4 符合上述技术指标要求的探测器系统一套，需列明每个探测器型号。 3.10.5 整机用品牌UPS备用电源，延时不低于2小时（需列明品牌、配置）。

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2023-05

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预计采购时间

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兰州理工大学扫描电子显微镜项目

1工作条件1.1电力供应：220V（10%），50Hz，单相；1.2工作温度：15℃-25℃；1.3工作湿度：< 80% (20℃)； 1.4仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定； 1.5仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准。 2设备用途 场发射扫描电子显微镜具有低电压下的超高分辨观察及微区分析能力，可广泛用于金属、非金属、生物等各种材料在纳米尺度下的形态、形貌、物相、晶体结构观察及微区成分分析。比如金属材料位错、析出相等结构的表征及分析 3技术规格 3.1电子光学系统 3.1.1 分辨率（平均值统计法）： *3.1.1.1高真空成像分辨率：≤0.5nm @15kV（减速模式）；≤0.8nm @1kV（减速模式）；≤0.9nm @1KV（非减速模式）；（以厂家官网彩页为准） 3.1.1.2 10mm EDS能谱分析工作距离下分辨率：≤1.0nm @1kV 3.1.2 放大倍率范围：20 ～ 1，000，000倍 (根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准) 3.1.3电压：200V 至 30kV；配置减速模式 3.1.4电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪 *3.1.5电子束流：1 pA ～ 50 nA，连续可调，配备电流测量装置（以厂家官网彩页为准） 3.1.6 束流稳定性：每10小时 < 0.4% 3.1.7 自动式物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。自动光阑，无需人工参与 3.1.8 电子枪维护可以自动烘烤、自动启动。 3.1.9 系统对中、合轴：全自动 3.1.10 电子束位移范围：不小于±20um 3.2 样品室和样品台 3.2.1 样品室内径≥340mm 3.2.2 分析工作距离10mm 3.2.3不少于12个探测器/附件接口（所有端口程序均免费开放，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM探头、红外探头、纳米机械手等等） *3.2.4五轴马达驱动优中心样品台： X≥110mm ;Y ≥110mm；Z ≥60mm；T≥90°；R = 360°连续旋转；步进进度优于100nm，样品台最大承重量2.0 kg 3.2.5要求配备多功能样品台 (可放置截面观察，预倾斜以及STEM样品) *3.3 检测器： 3.3.1 样品室内二次电子检测器 3.3.2 样品室背散射电子检测器 3.3.3镜筒内二次电子检测器 3.3.4镜筒内背散射电子检测器 3.3.5配置电荷中和器 3.3.6光学导航探头检测器 3.3.7样品室IR-CCD相机 3.4 真空系统 3.4.1完全无油真空系统 3.4.2 样品室真空度：优于6×10-6 mBar； 3.4.3 抽真空时间：< 3.5分钟 3.4.4保护：自动真空抽气及诊断系统，具有断电、缺水、失真空保护系统 3.5 数字图像处理系统 *3.5.1最大扫描和成像≥64000x64000像素 3.5.2配置的探测器信号既能实现同一个显示屏上单个活动窗口全屏显示某一探测器的图像信号，又能在同一显示屏上多个活动窗口（最多不少于4个窗口）同时并列显示不同探测器的图像信号，图像信号可相互实时切换，互不干扰 3.5.3 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选 3.5.4 控制系统：提供完整的系统操作控制系统和智能扫描软件，具有：线积分或平均，隔行扫描，漂移补偿幅积分，伪彩色功能，实时存储图像，图像处理(反像， Gamma，平滑，锐化，增强等)，图像旋转等 3.6 控制和数据处理系统 3.6.1 电镜控制器，最低配置要求：国际主流品牌HP计算机工作站，Intel Xeon 四核3.0GHz以上CPU；DDRIII 16.0GB内存；2000GB硬盘；1G独立专业图像显卡；DVD刻录机；一台1920×1200分辨率的24” LCD显示器 3.6.2 Windows 10的64位图形操作系统 3.6.3 操作方式：键盘、鼠标、控制面板 3.7 标准应用软件 3.7.1 具有样品台图像导航功能 3.7.2 具有双击鼠标移动样品功能 3.7.3 具有鼠标拖曳式放大及对中功能 3.7.4具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作 3.7.5具备撤销/恢复某一个步骤的功能，鼓励使用者放心实验 3.7.6具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探头种类） 3.7.7具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等） 3.7.8具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等 3.7.9提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。 3.8 能谱仪（EDS）部分技术指标 3.8.1探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗设计。封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。 3.8.2能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130，000cps）； F Ka 保证优于64eV（@计数率130，000cps）； C Ka 保证优于56eV（@计数率130，000cps）； 保证符合ISO 15632:2012标准。 3.8.3元素分析范围：Be4～Cf98。 3.8.4探测器可软件控制自动伸缩。 3.8.5具备元素谱图及面分布实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、元素谱图、不同元素分布以及它们的叠加图。样品停止移动时，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。可利用软件控制样品台移动及改变放大倍数。 3.8.6电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。 3.9 EBSD技术指标 3.9.1高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，并能够与各主流型号的电镜良好配合； 3.9.2 EBSD在线解析最高标定速度不低于5700pps，此时花样分辨率仍能保持为156*128； 3.9.3专门设计的探头仰角自动调节马达，在探测器完全深入状态下，探测器Z轴可通过软件在+/-22.9 mm范围内任意调整（电镜主机的不同会有微调），而无需重新校准即可连续采集EBSD数据； 3.9.4配有独立的操作手柄，能够实时显示探头位置，可选择直达指定位置或者步进模式控制探头就位； 3.9.5采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护EBSD作用； 3.9.6 操作软件完全与能谱仪软件一体化，可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定，实现能谱EBSD同时联机分析且不降速； 3.9.7电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096； 3.9.8动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩、倾转后均无需重新扣除背景或重新优化； 3.10要求的配置内容（包括但不限于） 3.10.1 符合上述技术指标要求的电镜一整套，含相应的软件操作系统、冷却循环水设备、真空泵、空压机、基本电脑控制系统（需注明配置）等。 3.10.2 随机额外配置两支场发射电子枪（包含安装人工费用，存放工厂按需发货）。 3.10.3 符合上述技术指标要求的能谱仪和EBSD一整套（需注明具体配置），含相应的软件及硬件等。 3.10.4 符合上述技术指标要求的探测器系统一套，需列明每个探测器型号。 3.10.5 整机用品牌UPS备用电源，延时不低于2小时（需列明品牌、配置）。

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2023-05