中国科学院南海海洋研究所2023年5月政府采购意向-高能量激光剥蚀系统-A02100499-预算金额230.000000万元(人民币)
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中国科学院南海海洋研究所2023年5月政府采购意向-高能量激光剥蚀系统-A02100499-预算金额230.000000万元(人民币)
| 高能量激光剥蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 南海海洋研究所2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 南海海洋研究所 |
| 采购项目名称： | 高能量激光剥蚀系统 |
| 预算金额： | 230.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 可与四级杆等离子体质谱仪和多接收等离子体质谱仪等联用，进行元素/同位素含量分析。激光源指标：准分子脉冲激光器，输出波长：193nm；最大脉冲能量≥240 mJ；*@*品表面≥50 J/cm2，激光脉冲宽度20ns；脉冲重复频率：1-20 Hz。光斑范围：1μm-300μm； 具有连续可调边长的矩形光斑，X和Y边长在范围内连续可调，调节精度均为1μm；且矩形光斑带有旋转功能，可360度任意旋转，旋转角度调节精度为1度。配置双模式双体积样品池，尺寸100X100mm。 双体积样品池的小体积样品杯绝对固定，不会跟移动平台一起移动，小体积杯容积<1立方厘米。移动台为闭环反馈式高精度X-Y-Z三轴移动台，三轴步进分辨率均＜10nm，样品台移动及定位由软件控制。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高能量激光剥蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 南海海洋研究所2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 南海海洋研究所 |
| 采购项目名称： | 高能量激光剥蚀系统 |
| 预算金额： | 230.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 可与四级杆等离子体质谱仪和多接收等离子体质谱仪等联用，进行元素/同位素含量分析。激光源指标：准分子脉冲激光器，输出波长：193nm；最大脉冲能量≥240 mJ；*@*品表面≥50 J/cm2，激光脉冲宽度20ns；脉冲重复频率：1-20 Hz。光斑范围：1μm-300μm； 具有连续可调边长的矩形光斑，X和Y边长在范围内连续可调，调节精度均为1μm；且矩形光斑带有旋转功能，可360度任意旋转，旋转角度调节精度为1度。配置双模式双体积样品池，尺寸100X100mm。 双体积样品池的小体积样品杯绝对固定，不会跟移动平台一起移动，小体积杯容积<1立方厘米。移动台为闭环反馈式高精度X-Y-Z三轴移动台，三轴步进分辨率均＜10nm，样品台移动及定位由软件控制。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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