中国科学院近代物理研究所2023年4至12月政府采购意向-全自动减薄机-A02053202研磨机-预算金额270.000000万元(人民币)
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中国科学院近代物理研究所2023年4至12月政府采购意向-全自动减薄机-A02053202研磨机-预算金额270.000000万元(人民币)
| 全自动减薄机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 近代物理研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 近代物理研究所 |
| 采购项目名称： | 全自动减薄机 |
| 预算金额： | 270.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*研磨机 |
| 采购需求概况： | 目前研制的硅基核辐射探测器为纵向pin结构器件，厚度在150um至1000um。但对于厚度小于100um（甚至65um）的大面积（100mm*100mm）超薄PIN探测器的研制需要利用全自动减薄机将已进行正面MEMS工艺制备的晶圆进行薄化处理工艺。具体要求如下：（1）晶圆减薄设备需配有全自动上、下片系统，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，实现上料后粗磨和精磨的全自动磨削加工。（2）实现4-6英寸硅晶圆由初始厚度减薄至100um以下（越薄越好），碎片率低于三千分之一；（3）减薄精度：片内厚度误差≤3um；片间厚度误差小于≤±3um；减薄后表面粗糙度≤0.02um；（4）设备需配置：防水双测头厚度测量仪；操作软件；安全及保护装置等。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动减薄机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 近代物理研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 近代物理研究所 |
| 采购项目名称： | 全自动减薄机 |
| 预算金额： | 270.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*研磨机 |
| 采购需求概况： | 目前研制的硅基核辐射探测器为纵向pin结构器件，厚度在150um至1000um。但对于厚度小于100um（甚至65um）的大面积（100mm*100mm）超薄PIN探测器的研制需要利用全自动减薄机将已进行正面MEMS工艺制备的晶圆进行薄化处理工艺。具体要求如下：（1）晶圆减薄设备需配有全自动上、下片系统，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，实现上料后粗磨和精磨的全自动磨削加工。（2）实现4-6英寸硅晶圆由初始厚度减薄至100um以下（越薄越好），碎片率低于三千分之一；（3）减薄精度：片内厚度误差≤3um；片间厚度误差小于≤±3um；减薄后表面粗糙度≤0.02um；（4）设备需配置：防水双测头厚度测量仪；操作软件；安全及保护装置等。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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