广东中科半导体微纳制造技术研究院2023年04月至2023年05月政府采购意向-自动化光学检测设备（AOI）
发送至邮箱
广东中科半导体微纳制造技术研究院2023年04月至2023年05月政府采购意向-自动化光学检测设备（AOI）
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年04月至2023年05月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 自动化光学检测设备（AOI） | 标的名称：自动化光学检测设备（AOI） 标的数量：1 主要功能或目标：自动化光学检测设备采用摄像技术，对晶圆表面扫描，将提取的影像与标准影像对比，抓取各种缺陷。在半导体器件制造过程中，可对不良品在电子图谱上进行标定，同时可以抓取缺陷的彩色照片，以供后续重新判定或对缺陷进行分类，实现高效率、高准确率的半导体器件缺陷检测。 需满足的要求：1.设备构成：自动上下片系统、彩色光学检测系统、轮廓测量模块、OCR字符识别器、条码读取装置、离子发生器、颗粒自动移除装置、报警装置等。2.设备性能需求： 适用6/8英寸Si基不透明材质、GaAs等化合物透明/半透明材质晶圆样品。 （1）支持最小尺寸100um * 100um或以下的芯片检测；至少支持 10X和20X两个不同复检倍率；2D检测精度≤0.2μm；3D 轮廓测量精度≤0.05μm； | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 7,800,000.00 | 2023年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2023年04月04日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年04月至2023年05月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 自动化光学检测设备（AOI） | 标的名称：自动化光学检测设备（AOI） 标的数量：1 主要功能或目标：自动化光学检测设备采用摄像技术，对晶圆表面扫描，将提取的影像与标准影像对比，抓取各种缺陷。在半导体器件制造过程中，可对不良品在电子图谱上进行标定，同时可以抓取缺陷的彩色照片，以供后续重新判定或对缺陷进行分类，实现高效率、高准确率的半导体器件缺陷检测。 需满足的要求：1.设备构成：自动上下片系统、彩色光学检测系统、轮廓测量模块、OCR字符识别器、条码读取装置、离子发生器、颗粒自动移除装置、报警装置等。2.设备性能需求： 适用6/8英寸Si基不透明材质、GaAs等化合物透明/半透明材质晶圆样品。 （1）支持最小尺寸100um * 100um或以下的芯片检测；至少支持 10X和20X两个不同复检倍率；2D检测精度≤0.2μm；3D 轮廓测量精度≤0.05μm； | 落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 7,800,000.00 | 2023年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制 (略)
2023年04月04日
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
