深圳技术大学VCSEL晶圆探针台意向公开

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深圳技术大学VCSEL晶圆探针台意向公开

深圳技术大学VCSEL晶圆探针台意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:VCSEL晶圆探针台
预算金额（元）:2,200,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购VCSEL晶圆探针台一套，配置包括：1、能够满足6寸并向下兼容碎片需求；2、X-Y轴：行程:≥220mm；分辨率:≤0.5um、重复性:≤±5um、精度:＜8um/100mm；3、Z轴：行程：≥8mm、分辨率：≤0.1um、重复性：≤3um；4、Theta规格：行程：≥± 7.5°、分辨率：≤0.001°；5、晶圆载台可实现20℃~100℃温控，温控精度±2℃，载物台平坦度≤±10μm（25℃）；6、具备直流探针针压监控功能，压力反馈精度≤±0.1g；
7、具有光电测试模块，重现性：顺向电压(VF)
联系人:宋惠雪
联系电话:0755-*
预计采购时间:2023-06
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
深圳技术大学VCSEL晶圆探针台意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:VCSEL晶圆探针台
预算金额（元）:2,200,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购VCSEL晶圆探针台一套，配置包括：1、能够满足6寸并向下兼容碎片需求；2、X-Y轴：行程:≥220mm；分辨率:≤0.5um、重复性:≤±5um、精度:＜8um/100mm；3、Z轴：行程：≥8mm、分辨率：≤0.1um、重复性：≤3um；4、Theta规格：行程：≥± 7.5°、分辨率：≤0.001°；5、晶圆载台可实现20℃~100℃温控，温控精度±2℃，载物台平坦度≤±10μm（25℃）；6、具备直流探针针压监控功能，压力反馈精度≤±0.1g；
7、具有光电测试模块，重现性：顺向电压(VF)
联系人:宋惠雪
联系电话:0755-*
预计采购时间:2023-06
备注:无
深圳技术大学VCSEL晶圆探针台意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:VCSEL晶圆探针台
预算金额（元）:2,200,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购VCSEL晶圆探针台一套，配置包括：1、能够满足6寸并向下兼容碎片需求；2、X-Y轴：行程:≥220mm；分辨率:≤0.5um、重复性:≤±5um、精度:＜8um/100mm；3、Z轴：行程：≥8mm、分辨率：≤0.1um、重复性：≤3um；4、Theta规格：行程：≥± 7.5°、分辨率：≤0.001°；5、晶圆载台可实现20℃~100℃温控，温控精度±2℃，载物台平坦度≤±10μm（25℃）；6、具备直流探针针压监控功能，压力反馈精度≤±0.1g；
7、具有光电测试模块，重现性：顺向电压(VF)
联系人:宋惠雪
联系电话:0755-*
预计采购时间:2023-06
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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采购单位:深圳技术大学
项目名称:VCSEL晶圆探针台
预算金额（元）:2,200,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购VCSEL晶圆探针台一套，配置包括：1、能够满足6寸并向下兼容碎片需求；2、X-Y轴：行程:≥220mm；分辨率:≤0.5um、重复性:≤±5um、精度:＜8um/100mm；3、Z轴：行程：≥8mm、分辨率：≤0.1um、重复性：≤3um；4、Theta规格：行程：≥± 7.5°、分辨率：≤0.001°；5、晶圆载台可实现20℃~100℃温控，温控精度±2℃，载物台平坦度≤±10μm（25℃）；6、具备直流探针针压监控功能，压力反馈精度≤±0.1g；
7、具有光电测试模块，重现性：顺向电压(VF)
联系人:宋惠雪
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预计采购时间:2023-06
备注:无
    
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