深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开

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深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开

深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:磁控溅射仪（sputter）
预算金额（元）:3,000,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购磁控溅射仪（sputter）一套，配置包括：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片。2、镀膜均匀性：8英寸内≤±5%。3、4 个4 英寸靶枪，靶枪最低工作压强：≤1mTorr。4、本底真空：优于5E-7torr；5、带全自动loadlock单基片进样室，可以安装一个8英寸的基片；6、样品加热台温度：最大不低于800度；7、电源数量：1台600W的射频电源，2台1500W直流电源，1个电源切换器；8、样品台转速0-20RPM可调；9、质量流量计：3路,O2（20sccm）、Ar（100sccm）、N2（20sccm）。10、保修时间1年。
联系人:宋惠雪
联系电话:*
预计采购时间:2023-06
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:磁控溅射仪（sputter）
预算金额（元）:3,000,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购磁控溅射仪（sputter）一套，配置包括：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片。2、镀膜均匀性：8英寸内≤±5%。3、4 个4 英寸靶枪，靶枪最低工作压强：≤1mTorr。4、本底真空：优于5E-7torr；5、带全自动loadlock单基片进样室，可以安装一个8英寸的基片；6、样品加热台温度：最大不低于800度；7、电源数量：1台600W的射频电源，2台1500W直流电源，1个电源切换器；8、样品台转速0-20RPM可调；9、质量流量计：3路,O2（20sccm）、Ar（100sccm）、N2（20sccm）。10、保修时间1年。
联系人:宋惠雪
联系电话:*
预计采购时间:2023-06
备注:无
深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:磁控溅射仪（sputter）
预算金额（元）:3,000,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购磁控溅射仪（sputter）一套，配置包括：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片。2、镀膜均匀性：8英寸内≤±5%。3、4 个4 英寸靶枪，靶枪最低工作压强：≤1mTorr。4、本底真空：优于5E-7torr；5、带全自动loadlock单基片进样室，可以安装一个8英寸的基片；6、样品加热台温度：最大不低于800度；7、电源数量：1台600W的射频电源，2台1500W直流电源，1个电源切换器；8、样品台转速0-20RPM可调；9、质量流量计：3路,O2（20sccm）、Ar（100sccm）、N2（20sccm）。10、保修时间1年。
联系人:宋惠雪
联系电话:*
预计采购时间:2023-06
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
深圳技术大学磁控溅射仪（sputter）意向公开
采购单位:深圳技术大学
项目名称:磁控溅射仪（sputter）
预算金额（元）:3,000,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购磁控溅射仪（sputter）一套，配置包括：1、基片尺寸：8英寸，兼容8英寸以下基片。2、镀膜均匀性：8英寸内≤±5%。3、4 个4 英寸靶枪，靶枪最低工作压强：≤1mTorr。4、本底真空：优于5E-7torr；5、带全自动loadlock单基片进样室，可以安装一个8英寸的基片；6、样品加热台温度：最大不低于800度；7、电源数量：1台600W的射频电源，2台1500W直流电源，1个电源切换器；8、样品台转速0-20RPM可调；9、质量流量计：3路,O2（20sccm）、Ar（100sccm）、N2（20sccm）。10、保修时间1年。
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预计采购时间:2023-06
备注:无
    
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