闽都创新实验室2023年04月至2023年05月政府采购意向
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闽都创新实验室2023年04月至2023年05月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将闽都创新实验室2023年度采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超高精度材料沉积系统招标项目 | 采购内容：超高精度材料沉积系统 采购数量：1套 主要功能或目标：1、最小图案尺寸小于1微米；2、基板加热温度大于150℃；3、对位精度：XY轴电机定位精度小于±1μm，重复定位精度小于±1μm，Z轴电机重复定位精度小于±10μm；4、最大能支持材料粘度不低于10万cp 需满足的要求：1、最小图案尺寸小于1微米；2、基板加热温度大于150℃；3、对位精度：XY轴电机定位精度小于±1μm，重复定位精度小于±1μm，Z轴电机重复定位精度小于±10μm；4、最大能支持材料粘度不低于10万cp | 250.* | 2023年05月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
闽都创新实验室
2023年04月19日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将闽都创新实验室2023年度采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超高精度材料沉积系统招标项目 | 采购内容：超高精度材料沉积系统 采购数量：1套 主要功能或目标：1、最小图案尺寸小于1微米；2、基板加热温度大于150℃；3、对位精度：XY轴电机定位精度小于±1μm，重复定位精度小于±1μm，Z轴电机重复定位精度小于±10μm；4、最大能支持材料粘度不低于10万cp 需满足的要求：1、最小图案尺寸小于1微米；2、基板加热温度大于150℃；3、对位精度：XY轴电机定位精度小于±1μm，重复定位精度小于±1μm，Z轴电机重复定位精度小于±10μm；4、最大能支持材料粘度不低于10万cp | 250.* | 2023年05月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
闽都创新实验室
2023年04月19日
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